TACコーティングチャック

Vetek SemiconductorのTACコーティングチャックは、SIC EPIプロセスで例外的な結果を達成するための理想的なソリューションです。炭化物コーティング、高温耐性、化学的不活性により、当社の製品は、精度と信頼性を備えた高品質の結晶を生産することができます。お問い合わせください。

Tac Tantal炭化物は、エピタキシャル装置の内部部分の表面をコーティングするために一般的に使用される材料です。次の特性があります。

● 優れた高温抵抗：炭化物のコーティングは、最大2200°Cまでの温度に耐えることができ、エピタキシャル反応チャンバーなどの高温環境での用途に最適です。

● 高い硬度：炭化物の硬度は約2000 hkに達します。これは、一般的に使用されるステンレス鋼またはアルミニウム合金よりもはるかに硬く、表面摩耗を効果的に防ぐことができます。

● 強力な化学的安定性：炭化物のコーティングは、化学的に腐食性の環境でうまく機能し、エピタキシャル装置成分のサービス寿命を大幅に延長できます。

● 良好な電気伝導率：コーティング表面には良好な電気伝導率があり、これは静電放出と熱伝導を助長します。

これらの特性により、TACタンタル炭化物コーティングは、内部ブッシング、反応チャンバー壁、エピタキシャル装置の加熱要素などの重要な部品を製造するための理想的な材料になります。これらのコンポーネントをTACでコーティングすることにより、エピタキシャル装置の全体的な性能とサービス寿命を改善することができます。

炭化シリコンのエピタキシーの場合、TACコーティングチャンクも重要な役割を果たす可能性があります。表面コーティング 滑らかで密なものであり、高品質の炭化シリコンフィルムの形成を助長します。同時に、TACの優れた熱伝導率は、機器内の温度分布の均一性を改善し、それによりエピタキシャルプロセスの温度制御精度を改善し、最終的に高品質を達成するのに役立ちます。炭化シリコンエピタキシャル層の成長。

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