炭化タンタル TaC コーティング ハーフムーン

Vetek Semiconductorは、プロの中国タンタル炭化物TACコーティングハーフムーンメーカーおよびサプライヤーです。 Vetek半導体は、炭化物のタンタルであるTAC COATED HALFMOONを提供します。これは、炭化シリコンのエピタキシャルプロセスでサポートと輸送の役割を果たします。基質をサポートするだけでなく、平坦な基礎を提供し、エピタキシーが均一に成長できるようにします。

ハーフムーン部品の品質と性能は、炭化ケイ素エピタキシャルプロセス中のウェーハの品質と性能に直接影響します。したがって、SiC エピタキシャル プロセスを成功させるには、適切なハーフムーン パーツを設計して選択することが重要です。 VeTek Semiconductor 製の炭化タンタル TaC コーティング ハーフムーンは、高温耐性、耐食性、耐摩耗性を強化し、成長プロセス中のハーフムーン コンポーネントの安定性と寿命を大幅に向上させることができます。

炭化タンタルコーティングのパラメータ:

タンタル炭化物の利点TACコーティングされた半moon：

1.高温抵抗

2.高い耐食性

3.硬度と耐摩耗性

4. Good熱伝導率

5.グッド化学的不活性

VeTek半導体製造工場：