SiCエピタキシープロセス

VeTek Semiconductor の独自のカーバイドコーティングは、要求の厳しい半導体および複合半導体材料の処理のための SiC エピタキシープロセスにおけるグラファイト部品に優れた保護を提供します。その結果、グラファイト部品の寿命が延長され、反応化学量論が維持され、エピタキシーや結晶成長用途への不純物の移動が抑制され、収率と品質が向上します。

当社の炭化タンタル (TaC) コーティングは、高温 (最大 2200°C) で重要な炉および反応器コンポーネントを高温のアンモニア、水素、シリコン蒸気、溶融金属から保護します。 VeTek Semiconductor は、お客様のカスタマイズされた要件を満たす幅広いグラファイト処理および測定機能を備えているため、お客様およびお客様の特定の用途に適したソリューションを設計する準備ができている専門エンジニアのチームとともに、有料のコーティングまたはフルサービスを提供できます。。

化合物半導体結晶

VeTek Semiconductor は、さまざまなコンポーネントやキャリアに特殊な TaC コーティングを提供できます。 VeTek Semiconductor の業界をリードするコーティングプロセスを通じて、TaC コーティングは高純度、高温安定性、および高い耐薬品性を得ることができ、それにより結晶 TaC/GaN および EPl 層の製品品質が向上し、重要なリアクターコンポーネントの寿命が延長されます。

断熱材

るつぼ、シードホルダー、デフレクター、フィルターなどの SiC、GaN、AlN 結晶成長コンポーネント。抵抗加熱素子、ノズル、シールドリング、ろう付け治具を含む工業用アセンブリ、ウェーハキャリア、サテライトトレイ、シャワーヘッド、キャップおよび台座を含む GaN および SiC エピタキシャル CVD リアクタコンポーネント、MOCVD コンポーネント。

目的：

●LED(発光ダイオード)ウエハキャリア

●ALD(半導体)レシーバー

●EPI受容体（SiCエピタキシープロセス）

CVD TaCコーティング遊星SiCエピタキシャルサセプタ SiCエピタキシャルリアクタ用TaCコーティングリング TaCコーティング三花弁リング LPE用炭化タンタルコーティング半月部品

SiC コーティングと TaC コーティングの比較:

	SiC	TaC
主な特長	超高純度、優れた耐プラズマ性	優れた高温安定性（高温プロセス適合性）
純度	>99.9999%	>99.9999%
密度 (g/cm³)	3.21	15
硬度 (kg/mm²)	2900-3300	6.7-7.2
抵抗率 [Ωcm]	0.1～15,000	<1
熱伝導率(W/m-K)	200-360	22
熱膨張係数(10^-6/℃)	4.5-5	6.3
応用	半導体装置用セラミック治具（フォーカスリング、シャワーヘッド、ダミーウエハ）	SiC単結晶育成、エピ、UV LED装置部品

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SiCエピタキシャルリアクタ用TaCコーティングリング

Vetek Semiconductorは、中国のSICエピタキシャル反応器のTACコーティングリングの大手メーカーおよびテクノロジーイノベーターであり、SICエピタキシャル反応器に高性能ソリューションの提供に焦点を当てています。 TACコーティング技術で長年の経験があります。 TACコーティングされたリングは、高純度、高い安定性、優れた耐食性などの特性を持ち、エピタキシャル反応器の過酷な作業環境で長期的な安定性パフォーマンスを提供できます。私たちはあなたとの長期的な戦略的パートナーシップを確立することを楽しみにしています。

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LPE用炭化タンタルコーティング半月部品

VeTek Semiconductor is a leading supplier of Tantalum Carbide Coated Halfmoon Part for LPE in China, focusing on TaC coating technology for many years. Our Tantalum Carbide Coated Halfmoon Part for LPE is designed for liquid phase epitaxy process and can withstand high temperature of over 2000 degrees Celsius. With excellent material performance and process innovation, our product life is at the leading level in the industry. VeTek Semiconductor looks forward to being your long-term partner in China.

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炭化タンタルコーティングされた遊星回転ディスク

VeTek Semiconductor は、中国におけるタンタルカーバイドコーティング遊星回転ディスクの大手メーカーおよびサプライヤーであり、長年にわたって TaC コーティング技術に注力してきました。当社の製品は高純度で優れた高温耐性を有しており、半導体メーカーから広く認められています。 VeTek Semiconductor タンタルカーバイドでコーティングされた遊星回転ディスクは、ウェーハエピタキシー業界のバックボーンとなっています。私たちは、お客様との長期的なパートナーシップを確立し、技術の進歩と生産の最適化を共同で推進できることを楽しみにしています。

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中国の専門家SiCエピタキシープロセスメーカーおよびサプライヤーとして、私たちは独自の工場を持っています。あなたの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要であるか、中国製の高度で耐久性のあるSiCエピタキシープロセスを購入したい場合でも、メッセージを残すことができます。