SiCエピタキシープロセス

VeTek Semiconductor の独自のカーバイドコーティングは、要求の厳しい半導体および複合半導体材料の処理のための SiC エピタキシープロセスにおけるグラファイト部品に優れた保護を提供します。その結果、グラファイト部品の寿命が延長され、反応化学量論が維持され、エピタキシーや結晶成長用途への不純物の移動が抑制され、収率と品質が向上します。

当社の炭化タンタル (TaC) コーティングは、高温 (最大 2200°C) で重要な炉および反応器コンポーネントを高温のアンモニア、水素、シリコン蒸気、溶融金属から保護します。 VeTek Semiconductor は、お客様のカスタマイズされた要件を満たす幅広いグラファイト処理および測定機能を備えているため、お客様およびお客様の特定の用途に適したソリューションを設計する準備ができている専門エンジニアのチームとともに、有料のコーティングまたはフルサービスを提供できます。。

化合物半導体結晶

VeTek Semiconductor は、さまざまなコンポーネントやキャリアに特殊な TaC コーティングを提供できます。 VeTek Semiconductor の業界をリードするコーティングプロセスを通じて、TaC コーティングは高純度、高温安定性、および高い耐薬品性を得ることができ、それにより結晶 TaC/GaN および EPl 層の製品品質が向上し、重要なリアクターコンポーネントの寿命が延長されます。

断熱材

るつぼ、シードホルダー、デフレクター、フィルターなどの SiC、GaN、AlN 結晶成長コンポーネント。抵抗加熱素子、ノズル、シールドリング、ろう付け治具を含む工業用アセンブリ、ウェーハキャリア、サテライトトレイ、シャワーヘッド、キャップおよび台座を含む GaN および SiC エピタキシャル CVD リアクタコンポーネント、MOCVD コンポーネント。

目的：

●LED(発光ダイオード)ウエハキャリア

●ALD(半導体)レシーバー

●EPI受容体（SiCエピタキシープロセス）

CVD TaCコーティング遊星SiCエピタキシャルサセプタ SiCエピタキシャルリアクタ用TaCコーティングリング TaCコーティング三花弁リング LPE用炭化タンタルコーティング半月部品

SiC コーティングと TaC コーティングの比較:

	SiC	TaC
主な特長	超高純度、優れた耐プラズマ性	優れた高温安定性（高温プロセス適合性）
純度	>99.9999%	>99.9999%
密度 (g/cm³)	3.21	15
硬度 (kg/mm²)	2900-3300	6.7-7.2
抵抗率 [Ωcm]	0.1～15,000	<1
熱伝導率(W/m-K)	200-360	22
熱膨張係数(10^-6/℃)	4.5-5	6.3
応用	半導体装置用セラミック治具（フォーカスリング、シャワーヘッド、ダミーウエハ）	SiC単結晶育成、エピ、UV LED装置部品

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CVD TaC コーティングるつぼ

VeTek Semiconductor は、中国における CVD TaC コーティングるつぼ製品の専門メーカーおよびリーダーです。 CVD TaC コーティングるつぼはタンタルカーボン (TaC) コーティングをベースとしています。タンタル炭素コーティングは、化学気相成長 (CVD) プロセスによってルツボの表面に均一に覆われ、耐熱性と耐食性を高めます。高温の極限環境で特に使用される材料ツールです。さらなるご相談を歓迎いたします。

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CVD TACコーティングウェーハキャリア

中国のプロのCVD TACコーティングウェーハキャリアキャリア製品メーカーおよび工場として、VETEK半導体CVD TACコーティングウェーハキャリアは、半導体製造における高温および腐食性環境向けに特別に設計されたウェーハキャリングツールです。また、CVD TACコーティングウェーハキャリアは、機械的強度が高く、優れた耐食性と熱安定性があり、高品質の半導体デバイスの製造に必要な保証を提供します。あなたのさらなる問い合わせは大歓迎です。

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TaCコーティングヒーター

Vetek半導体TACコーティングヒーターの融点は非常に高い（約3880°C）です。高い融点により、特に窒化ガリウム（GAN）エピタキシャル層の成長が金属有機化学蒸気（MOCVD）プロセスにおける成長で、非常に高温で動作することができます。 Vetek Semiconductorは、顧客にカスタマイズされた製品ソリューションを提供することに取り組んでいます。ご連絡をお待ちしております。

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CVD TAC コーティング

Vetek Semiconductorは、中国をリードするCVD TACコーティング製品メーカーです。長年にわたり、CVD TACコーティングカバー、CVD TACコーティングリングなどのさまざまなCVD TACコーティング製品に焦点を当ててきました。 Vetek Semiconductorは、カスタマイズされた製品サービスと満足のいく製品価格をサポートしており、さらに相談を楽しみにしています。

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TACコーティングチャック

高温抵抗、化学的不活性、優れた性能により、Vetek半導体のTACコーティングチャックは、半導体炉向けに設計されています。当社の製品は、高度なテクノロジーと高品質の製品ソリューションを提供できると考えています。

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TACコーティングチューブ

VeTek Semiconductor の TaC コーティングチューブは、炭化ケイ素単結晶の成長を成功させるための重要なコンポーネントです。高温耐性、化学的不活性性、優れた性能により、一貫した結果を伴う高品質の結晶の生産が保証されます。 PVT 法による SiC 結晶成長プロセスを強化し、優れた結果を達成するには、当社の革新的なソリューションを信頼してください。お問い合わせを歓迎します。

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中国の専門家SiCエピタキシープロセスメーカーおよびサプライヤーとして、私たちは独自の工場を持っています。あなたの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要であるか、中国製の高度で耐久性のあるSiCエピタキシープロセスを購入したい場合でも、メッセージを残すことができます。