TACコーティングガイドリング

VeTek Semiconductor は、中国の TaC コーティング ガイド リング、TaC コーティングるつぼ、シード ホルダーの専門メーカーおよびサプライヤーです。

SICおよびAIN単結晶炉のTACコーティングるつぼ、種子ホルダー、およびTACコーティングガイドリングは、PVTメソッドによって栽培されました。

物理的蒸気輸送法（PVT）を使用してSICを調製する場合、種子結晶は比較的低温領域にあり、SIC原料は比較的高温領域（2400℃を超える）にあります。原材料分解は、Sixcy（主にSi、Sic₂、Si₂cなどを含む）を生成します。蒸気相材料は、高温領域から低温度領域の種子結晶に輸送され、核形成と成長します。単結晶を形成する。このプロセスで使用されている熱場材料は、クルーシブル、フローガイドリング、種子クリスタルホルダーなど、高温に耐性があり、SIC原材料やSIC単結晶を汚染しないでください。同様に、ALN単結晶の成長における加熱要素は、Al蒸気、n₂腐食に耐性が必要であり、結晶準備期間を短縮するために高い共同温度（およびALN）を持つ必要があります。

TACコーティングされたグラファイト熱磁場材料によって調製されたSICとALNは、炭素（酸素、窒素）、およびその他の不純物、より少ないエッジ欠損、各領域の抵抗性が少なく、マイクロポア密度とエッチングピット密度がよりクリーンであることがわかりました。 （KOHエッチング後）大幅に減少し、結晶の品質が大幅に改善されました。さらに、TACるつぼの減量率はほぼゼロであり、外観は非破壊的で、リサイクル（最大200時間）ができ、そのような単結晶の調製の持続可能性と効率を改善することができます。

TACコーティングガイドリングの製品パラメーター：

制作ショップ：

半導体チップのエピタキシー産業チェーンの概要: