SiCエピタキシープロセス

VeTek Semiconductor の独自のカーバイドコーティングは、要求の厳しい半導体および複合半導体材料の処理のための SiC エピタキシープロセスにおけるグラファイト部品に優れた保護を提供します。その結果、グラファイト部品の寿命が延長され、反応化学量論が維持され、エピタキシーや結晶成長用途への不純物の移動が抑制され、収率と品質が向上します。

当社の炭化タンタル (TaC) コーティングは、高温 (最大 2200°C) で重要な炉および反応器コンポーネントを高温のアンモニア、水素、シリコン蒸気、溶融金属から保護します。 VeTek Semiconductor は、お客様のカスタマイズされた要件を満たす幅広いグラファイト処理および測定機能を備えているため、お客様およびお客様の特定の用途に適したソリューションを設計する準備ができている専門エンジニアのチームとともに、有料のコーティングまたはフルサービスを提供できます。。

化合物半導体結晶

VeTek Semiconductor は、さまざまなコンポーネントやキャリアに特殊な TaC コーティングを提供できます。 VeTek Semiconductor の業界をリードするコーティングプロセスを通じて、TaC コーティングは高純度、高温安定性、および高い耐薬品性を得ることができ、それにより結晶 TaC/GaN および EPl 層の製品品質が向上し、重要なリアクターコンポーネントの寿命が延長されます。

断熱材

るつぼ、シードホルダー、デフレクター、フィルターなどの SiC、GaN、AlN 結晶成長コンポーネント。抵抗加熱素子、ノズル、シールドリング、ろう付け治具を含む工業用アセンブリ、ウェーハキャリア、サテライトトレイ、シャワーヘッド、キャップおよび台座を含む GaN および SiC エピタキシャル CVD リアクタコンポーネント、MOCVD コンポーネント。

目的：

●LED(発光ダイオード)ウエハキャリア

●ALD(半導体)レシーバー

●EPI受容体（SiCエピタキシープロセス）

CVD TaCコーティング遊星SiCエピタキシャルサセプタ SiCエピタキシャルリアクタ用TaCコーティングリング TaCコーティング三花弁リング LPE用炭化タンタルコーティング半月部品

SiC コーティングと TaC コーティングの比較:

	SiC	TaC
主な特長	超高純度、優れた耐プラズマ性	優れた高温安定性（高温プロセス適合性）
純度	>99.9999%	>99.9999%
密度 (g/cm³)	3.21	15
硬度 (kg/mm²)	2900-3300	6.7-7.2
抵抗率 [Ωcm]	0.1～15,000	<1
熱伝導率(W/m-K)	200-360	22
熱膨張係数(10^-6/℃)	4.5-5	6.3
応用	半導体装置用セラミック治具（フォーカスリング、シャワーヘッド、ダミーウエハ）	SiC単結晶育成、エピ、UV LED装置部品

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多孔質炭化物

Vetek Semiconductorは、中国の多孔質タンタル炭化物製品の専門的なメーカーおよびリーダーです。多孔質炭化物は通常、化学蒸気堆積（CVD）法によって製造され、その孔のサイズと分布の正確な制御を確保し、高温の極端な環境専用の材料ツールです。あなたのさらなる相談を歓迎します。

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TACコーティングガイドリング

VeTek Semiconductor の TaC コーティングガイドリングは、化学蒸着 (CVD) と呼ばれる高度な技術を使用してグラファイト部品に炭化タンタルコーティングを施すことによって作成されます。この方法は十分に確立されており、優れたコーティング特性を提供します。 TaCコーティングガイドリングを活用することで、黒鉛部品の寿命を大幅に延長し、黒鉛不純物の移動を抑制し、SiCおよびAlN単結晶の品質を確実に維持することができます。お問い合わせを歓迎します。

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タンタル炭化物リング

中国のタンタル炭化物リング製品の上級メーカーおよび生産者として、Vetek半導体炭化物リングは非常に高い硬度、耐摩耗性、高温耐性、化学的安定性を持ち、半導体製造分野で広く使用されています。特に、CVD、PVD、イオン移植プロセス、エッチングプロセス、ウェーハ処理と輸送では、半導体処理と製造に不可欠な製品です。あなたのさらなる相談を楽しみにしています。

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炭化タンタルコーティングサポート

中国のプロのタンタルカーバイドコーティングサポート製品メーカーおよび工場として、VeTek Semiconductor タンタルカーバイドコーティングサポートは通常、半導体装置の構造コンポーネントまたはサポートコンポーネントの表面コーティング、特に半導体製造プロセスにおける主要な機器コンポーネントの表面保護に使用されます。 CVDとPVD。さらなるご相談を歓迎いたします。

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タンタル炭化物ガイドリング

Vetek Semiconductorは、中国のTantalum Carbide Guide Ring製品の専門的なメーカーおよびリーダーです。当社の炭化物（TAC）ガイドリングは、特に高温処理装置、CVD、PVD、エッチング、拡散などの高温および非常に腐食性の環境で一般的に使用されている炭化物で作られた高性能リングコンポーネントです。 Vetek Semiconductorは、半導体業界向けの高度な技術と製品ソリューションの提供に取り組んでおり、さらなる問い合わせを歓迎します。

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TaCコーティング回転サセプタ

中国におけるTaCコーティング回転サセプター製品の専門メーカー、革新者、リーダーとして。 VeTek Semiconductor TaC コーティング回転サセプタは、通常、化学蒸着 (CVD) および分子線エピタキシー (MBE) 装置に取り付けられ、ウェーハを支持して回転させ、均一な材料堆積と効率的な反応を保証します。半導体プロセスの重要なコンポーネントです。さらなるご相談を歓迎いたします。

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中国の専門家SiCエピタキシープロセスメーカーおよびサプライヤーとして、私たちは独自の工場を持っています。あなたの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要であるか、中国製の高度で耐久性のあるSiCエピタキシープロセスを購入したい場合でも、メッセージを残すことができます。