SiCエピタキシープロセス

CVD TaC コーティング遊星 SiC エピタキシャル サセプターは、MOCVD 遊星リアクターのコア コンポーネントの 1 つです。 CVD TaCコーティング遊星SiCエピタキシャルサセプタにより、大きなディスクが軌道を描き、小さなディスクが回転し、水平流モデルがマルチチップマシンに拡張され、高品質のエピタキシャル波長均一性管理と単一の欠陥最適化の両方を備えています。 VeTek Semiconductor は、高度にカスタマイズされた CVD TaC コーティング遊星型 SiC エピタキシャル サセプタを顧客に提供できます。あなたもAixtronのような惑星型MOCVD炉を作りたいなら、ぜひ私たちに来てください！

Vetek Semiconductorは、Gan Epitaxy Comptectorの世界クラスのメーカーであり、サプライヤーである中国企業です。私たちは、シリコン炭化物コーティングやGANエピタキシー受容者などの半導体業界で長い間働いてきました。優れた製品と有利な価格を提供できます。 Vetek Semiconductorは、長期的なパートナーになることを楽しみにしています。

VeTek Semiconductor TaC コーティング ウェーハ サセプタは、ウェーハの品質と性能を向上させる炭化ケイ素のエピタキシャル成長用に炭化タンタルでコーティングされたグラファイト トレイです。 VeTek が選ばれた理由は、優れた SiC エピタキシー結果とサセプタ寿命の延長を確実にする高度なコーティング技術と耐久性のあるソリューションです。さらなるお問い合わせを歓迎します。

中国のTACコーティングガイドリング製品の大手メーカーとして、VETEK半導体TACコーティングガイドリングはMOCVD機器の重要な成分であり、エピタキシャル成長中の正確で安定したガス送達を確保し、半導体エピタキシャル成長に不可欠な材料です。ご相談ください。

Vetek Semiconductorは、中国の多孔質タンタル炭化物製品の専門的なメーカーおよびリーダーです。多孔質炭化物は通常、化学蒸気堆積（CVD）法によって製造され、その孔のサイズと分布の正確な制御を確保し、高温の極端な環境専用の材料ツールです。あなたのさらなる相談を歓迎します。

VeTek Semiconductor の TaC コーティング ガイド リングは、化学蒸着 (CVD) と呼ばれる高度な技術を使用してグラファイト部品に炭化タンタル コーティングを施すことによって作成されます。この方法は十分に確立されており、優れたコーティング特性を提供します。 TaCコーティングガイドリングを活用することで、黒鉛部品の寿命を大幅に延長し、黒鉛不純物の移動を抑制し、SiCおよびAlN単結晶の品質を確実に維持することができます。お問い合わせを歓迎します。