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EPIレシーバーのGan
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EPIレシーバーのGan

SIC EPI受容器のGANは、優れた熱伝導率、高温処理能力、化学的安定性を通じて半導体処理において重要な役割を果たし、GANエピタキシャル成長プロセスの高効率と材料品質を保証します。 Vetek Semiconductorは、SIC EPI ComptectorのGanの中国の専門メーカーです。ご紹介を心から楽しみにしています。

専門家として半導体メーカー中国では、それは半導体です EPIレシーバーのGanの準備プロセスの重要なコンポーネントですsicのガンデバイス、そしてそのパフォーマンスは、エピタキシャル層の品質に直接影響します。パワーエレクトロニクス、RFデバイス、その他のフィールドのSICデバイスでGANを広く適用することで、の要件したがって、EPIレシーバーますます高くなります。半導体業界に究極のテクノロジーと製品ソリューションの提供に焦点を当て、相談を歓迎します。


一般的に、半導体処理におけるSIC EPI受容器に対するGANの役割は次のとおりです:

Illustration of epitaxial structures of GaN on SiC


●高温処理機能:Gan on Sic Epi Comptector(炭化シリコンエピタキシャル成長円盤に基づくGAN)は、主に窒化ガリウム(GAN)エピタキシャル成長プロセス、特に高温環境で使用されています。このエピタキシャル成長ディスクは、通常は1000°Cから1500°Cの間に非常に高い加工温度に耐えることができ、GAN材料のエピタキシャル成長と炭化シリコン(SIC)基質の処理に適しています。


●優れた熱伝導率:SIC EPI受容器は、成長プロセス中に温度の均一性を確保するために、加熱源によって生成された熱をSIC基質に均等に伝達するために良好な熱伝導率を持つ必要があります。炭化シリコンは非常に高い熱伝導率(約120〜150 W/MK)であり、SICエピタキシー容疑者のGANは、シリコンなどの従来の材料よりも効果的に熱を実施できます。この機能は、窒化ガリウムエピタキシャル成長プロセスで重要です。これは、基質の温度均一性を維持し、それによってフィルムの品質と一貫性を改善するためです。


●汚染を防ぎます:SIC EPI容疑者に対するGANの材料および表面処理プロセスは、成長環境の汚染を防ぎ、エピタキシャル層への不純物の導入を避けることができなければなりません。


のプロのメーカーとしてEPIレシーバーのGan, 多孔質グラファイトそしてTACコーティングプレート中国では、Vetek Semiconductorは常にカスタマイズされた製品サービスの提供を主張しており、業界にトップテクノロジーと製品ソリューションを提供することを約束しています。ご相談と協力を心から楽しみにしています。


CVD SICコーティングフィルムクリスタル構造

CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE


CVD SICコーティングの基本的な物理的特性


CVD SICコーティングの基本的な物理的特性
コーティングプロパティ
典型的な値
結晶構造
FCCβ相多結晶、主に(111)配向
CVD SICコーティング密度
3.21 g/cm³
硬度
2500ビッカーズの硬度(500g負荷)
穀物サイズ
2〜10mm
化学純度
99.99995%
熱容量
640 J・kg-1・k-1
昇華温度
2700℃
曲げ強度
415 MPA RT 4ポイント
ヤングモジュラス
430 GPA 4PTベンド、1300℃
熱伝導率
300W・m-1・k-1
熱膨張(CTE)
4.5×10-6K-1

それは半導体です sic epi scempceptor生産ショップのgan

GaN on SiC epi susceptor production shops


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