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TACコーティングチャック
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TACコーティングチャック

高温抵抗、化学的不活性、優れた性能により、Vetek半導体のTACコーティングチャックは、半導体炉向けに設計されています。当社の製品は、高度なテクノロジーと高品質の製品ソリューションを提供できると考えています。

Vetek Semiconductorは、高品質でリーズナブルな価格のTACコーティンググラファイトトレイメーカー、TACコーティングホルダー、TACコーティングされたチューブ、TACコーティングチューブ、TACコーティングチューブ、TACコーティングチューブ、プロのリーダーです。お問い合わせください。

Vetek半導体のTACコーティングチャックは、半導体製造における高性能成分の不可欠な部分です。次の重要な特性に依存します。


高い真空の完全性:TACコーティングチャックは、処理サイクル全体にわたって高レベルの真空の完全性を維持し、アウトガスと汚染を効果的に削減し、半導体材料の純度と品質を確保します。

高温と耐薬品性:TACコーティングは非常に熱的かつ化学的に耐性があり、最大2200°Cまでの温度で動作し、水素、アンモニア、シリコン蒸気などの腐食性ガスに抵抗することができます。

拡張機器寿命:摩耗に対する優れた抵抗と熱ショックにより、TACコーティングされたチャックは、機器の寿命を大幅に延長し、メンテナンスの必要性を減らすことができます。

生産効率の向上:汚染を減らし、材料の純度を改善することにより、TACコーティングされたチャックは生産効率と製品の品質を改善し、生産コストを削減するのに役立ちます。


さらに、TACコーティングチャックは優れた汎用性を示し、幅広い半導体基質サイズとジオメトリに対応することができます。そのカスタマイズ可能な設計により、TACコーティングチャックを既存の半導体炉システムにシームレスに統合し、ダウンタイムを大幅に削減し、生産性を最大化できます。この柔軟性は、機器の互換性を改善するだけでなく、生産プロセスの継続性と効率性を保証し、信頼性の高い効率的なソリューションを半導体メーカーに提供します。

VETEK半導体のTACコーティングチャックのパフォーマンスと適応性の利点により、半導体製造に不可欠で重要なコンポーネントになります。お問い合わせください。

TACコーティングチャックの製品パラメーター:

TACコーティングの物理的特性
TACコーティング密度
14.3(g/cm³)
特定の放射率
0.3
熱膨張係数 6.3*10-6/k
TACコーティングの硬度(hk)
2000 HK
抵抗
1×10-5オーム*cm
熱安定性
<2500℃
グラファイトサイズの変更
-10〜-20um
コーティングの厚さ
≥20um典型的な値(35um±10um)


生産ショップ:

VeTek Semiconductor Production Shop


半導体チップエピタキシー産業チェーンの概要:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

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