CVDタンタルカーバイド(TaC)コーティングサセプター

主な特長

アプリケーション

典型的なアプリケーションには次のものがあります。

・SiCエピタキシャル成長

• GaN MOCVD エピタキシー

・AlNエピタキシャル成長

• 第三世代半導体製造

• ハイパワーエレクトロニクス

• RF デバイス

• MicroLEDの製造

• 研究およびパイロット生産システム

対応機器

互換性のあるプラットフォームには次のものがあります。

•エクストロン

•LPE

•ヴィーコ

• AMEC

•ニューフレア

• カスタム CVD および MOCVD リアクター

以下もご利用いただけます:

• ウェーハキャリア

• 遊星サセプター

• バレルサセプター

• 回転ディスク

• 半月パーツ

• カバープレート

• グラファイトアセンブリ

• カスタム熱フィールドコンポーネント

技術仕様

よくある質問

1. CVD TaC コーティングサセプタとは何ですか?

エピタキシャル成長中にウェーハキャリアとして使用される、高密度 CVD TaC コーティングで保護された高純度グラファイトコンポーネント。

2. TaC coaを使用する理由SiCコーティングの代わりにコーティング？

TaC は、より高い耐熱性、優れた化学的安定性、およびより長い耐用年数を提供します。

3.TaC-cを使用する半導体プロセスはどれですかオーテッドサセプター？

SiC エピタキシー、GaN MOCVD、AlN エピタキシー、その他の高温結晶成長プロセス。

4。 VETEK はカスタマイズされたサセプターを製造できますか?

はい。お客様の図面とプロセス要件に基づいてカスタマイズされた設計を提供します。

5。どのリアクターのブランドがサポートされていますか?

Aixtron、LPE、Veeco、AMEC、NuFlare、その他の主流システム。