半導体クォーツボート

半導体石英ボートは、半導体製造プロセスで使用される高純度の石英製品です。その主な機能は、高温炉にウェーハを運び、伝達することです。半導体、Optoelectronics、LEDなどの精密産業で広く使用されています。拡散、酸化、CVD、その他のプロセスに適しています。

製品機能：

• 高純度：半導体クォーツボートは、非常に低い不純物含有量を備えた高純度の石英材料を使用し、金属イオン汚染を効果的に回避し、半導体プロセスの清潔な環境要件に適しています。

• 高温抵抗：優れた高温耐性を持ち、最大1200℃までの環境で長い間安定して使用できます。

• 耐食性：酸やアルカリなどのほとんどの化学物質試薬に対して良好な腐食抵抗があるため、CVD炉などの半導体装置の化学環境に適応できます。

•良好な熱安定性：低熱膨張係数、加熱時に変形が容易ではなく、頻繁な加熱および冷却プロセスに適しています。

仕様

•生産効率を改善します：コンパクトな設計、簡単なウェーハ転送、およびプロセス容量の改善。

•汚染リスクを減らします：高純度の石英材料、プロセスでの微量不純物の汚染を減らします。

•長寿命と耐久性：高温および腐食抵抗は、高周波使用に適しており、交換コストが削減されます。

Vetek Semiconductorは、高品質の高度なクォーツキャリア製品を顧客に提供することに取り組んでいます。すべての製品は、半導体業界の高い基準を確実に満たすために、厳密に品質管理されています。