高純度クォーツウェーハボート

Vetek半導体の高純度石英ウェーハボートは、低ヒドロキシル含有量、高純度、強い高温抵抗の特性を持つ超高純度石英で作られています。この材料は、半導体産業でも拡散炉およびCVD炉成分の材料として広く使用されています。シリコンウェーハを運ぶための容器として、高純度の石英ボートウェーハは、半導体、太陽光発電、化学物質、その他のフィールドで使用されています。

アプリケーションシナリオ

まず半導体分野です。ウェーハの熱処理工程は熱酸化、拡散、アニールなど非常に重要です。この熱処理工程によりウェーハに新たな特性を与えます。

バッチ炉のコアチューブは、熱酸化、高温拡散、アニーリング、薄膜堆積などの半導体ウェーハ処理プロセスに使用されます。バッチ加熱炉は、主に炉の体をコイルで加熱して熱処理を完了するために使用されます。さまざまな作業構造によると、バッチ炉のコアチューブは、水平炉と垂直炉に分けることができます。

(1)横型炉の高純度石英ウェーハボートは水平に設置されているため、横型炉と呼ばれます。

熱処理プロセスでは、ウェーハは高純度クォーツウェーハボートに積み込まれ、ゆっくりと石英炉チューブに送られ、ウェーハは処理のために一定の温度ゾーンに配置されます。プロセスが完了するのを待った後、使用済みのクォーツボートを使用したクォーツボートは、急激な温度変化のためにウェーハが損傷するのを防ぐために、クォーツ炉からゆっくりと引き出されます。水平炉は、200mm未満のウェーハ直径を備えた積分回路の拡散プロセスで広く使用されています。 

水平炉の利点は、単純なプロセス、ウェーハ間の良好な均一性、および複数のウェーハを同時に処理する能力です。欠点は、暖房速度の遅い、機器の大きさの大きさ、自動化の難易度、およびウェーハの積み降ろし時の外部空気の簡単な侵入です。

（2）垂直炉の高純度クォーツウェーハボートは垂直に配置されているため、垂直炉と呼ばれます。

ウェーハはクォーツタワーに積み込まれ、加熱のためにゆっくりとクォーツ炉チューブに上がります。暖房プロセス中、高純度クォーツウェーハボートはゆっくりと回転し、ウェーハが均等に加熱されるようにします。処理後、クォーツタワーはゆっくりと下降して、ウェーハの損傷を引き起こす可能性のある温度変化を避けます。垂直炉は、主に直径200mmおよび300mmのウェーハの積分回路プロセスで使用されます。垂直炉のコアテクノロジーは、高精度の温度フィールド制御、粒子制御、微小環境マイクロオキシゲン制御および運動化にあります。垂直炉の利点は、薄い天然酸化物層、良好な均一性、より簡単な自動化、小さな機器の足跡、バッチ処理です。欠点は、加熱速度が遅いことです。

太陽光発電場では、太陽電池の生産プロセスでは、高温拡散プロセスでシリコンウェーハを運び、輸送するために石英ボートが必要です。高純度の窒素、酸素、またはリン拡散やホウ素拡散などのその他の不活性ガス雰囲気における高温処理は、太陽電池の製造プロセスにおける重要なステップです。目的は、シリコンウェーハにPN接合部を形成することです。

クォーツボートには、シリコンウェーハが高温拡散プロセス中に正確な位置を維持し、均等に加熱されるように、内部の正確に設計されたスロットがあります。石英材料は良好な温度耐性と化学的安定性を持っているため、シリコンウェーハを汚染しません。これは、生産環境の高い清潔さを維持するのに役立ちます。

中国のウェーハ使用石英ボート市場のイノベーターおよびリーダーとして、半導体産業または太陽光発電産業に従事しているかどうかにかかわらず、高純度石英ウェーハボートが必要な場合は、お見積りをご依頼ください。カスタマイズ可能です。あなたのニーズに応じてそれをあなたのために。

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