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VeTek Semiconductor is a China professional ALD Susceptor manufacturer. Vetek jointly developed and produced SiC-coated ALD planetary bases with ALD system manufacturers to meet the high requirements of the ALD process. Welcome your consultation.

専門家として上司中国のメーカー、当社の製品上司正確な温度制御、均一なガス分布、優れた熱伝導率およびその他の製品特性がそれを決定します上司原子層堆積(ALD)プロセスで重要な役割を果たします。重要な役割、あなたの相談を歓迎します。


均一な薄膜堆積:ALD受容器は、原子層堆積(ALD)プロセス中に、ウェーハ表面全体に原子層の均一な堆積を保証します。そのユニークな回転設計により、ガスと反応物がウェーハ表面に均等に接触することを可能にし、均一なフィルムの厚さをもたらします。これは、高精度の半導体製造にとって重要です。


堆積品質を改善します:温度制御とガス分布を最適化することにより、ALD受容器はフィルムの品質とパフォーマンスを大幅に改善し、欠陥と不均一性を減らします。これにより、高精度の半導体と電子機器の製造に最適であり、製品の信頼性とパフォーマンスを確保します。


マルチワーファー処理をサポートします:特定のALD受容器設計により、複数のウェーハを同時に処理することで、生産効率が向上します。これは、ハイスループットの製造環境にとって特に重要であり、大規模な生産のニーズを満たすことができます。


さまざまなサイズとタイプのウェーハに収容されます:ALD受容器は一般に高い互換性のために設計されており、さまざまなサイズとタイプのウェーハをサポートできます。これにより、さまざまな生産プロセスで効果的になり、柔軟性と適応性が向上します。


生産コストを削減します:その効率的なガス分布と均一な暖房機能により、ALD受容器は堆積プロセスの効率を高め、それにより材料の廃棄物と生産コストを削減します。これは、生産効率を改善するのに役立つだけでなく、製造コストを大幅に削減します。


CVD SICコーティングの基本的な物理的特性:


CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE


Basic physical properties of CVD SiC coating


生産ショップ:


VeTek Semiconductor Production Shop


半導体チップエピタキシー産業チェーンの概要

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

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