熱分解炭素(PyC)コーティングされたグラファイトリング

SiC PVT 結晶成長セットアップでは、グラファイト部品は非常に高温で長時間稼働します。 VeTek の PyC コーティングされたグラファイトリングは、そのような用途向けに作られています。熱分解炭素層は、CVD によって高純度グラファイト上に堆積されます。これにより、部品の表面安定性が向上し、動作中に脱落する粒子が少なくなります。通常、これを熱フィールド領域に配置して、蒸気の流れと炉内の熱の広がりを管理します。また、このコーティングは、温度が 2200°C を超えるとグラファイトの昇華を遅らせ、コンポーネント全体の寿命を延ばします。

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製品説明

1. 製品の特長

● 緻密で細孔のない PyC コーティング: 均一で緻密な層を形成し、結晶成長中のガス透過性と粒子汚染を低減します。
● 高温への耐性: 2200°C を超える真空または不活性ガス中でも構造的に健全な状態を保ちます。
●非常に高純度：精製された黒鉛から作られています。さらに高純度 CVD を使用しているため、不純物レベルは超低レベルに保たれます。
● 優れた耐熱衝撃性: 熱膨張が低いため、急速な加熱と冷却をしても亀裂が発生しません。
● 優れた耐食性: グラファイト基板を化学的攻撃や高温昇華から守ります。ダメージ。
● 長い耐用年数: コーティングされていないグラファイトリングよりもはるかに長持ちするため、炉のメンテナンスを頻繁に行う必要がありません。

500 倍の顕微鏡下で見た熱分解炭素コーティングの効果。無傷で密閉された表面。

2. 技術仕様

アイテム	ユニット	代表値
結晶構造	—	六角
位置合わせ	—	001 方向に沿った配向または非配向
かさ密度	g/cm3	～2.26
微細構造	—	多結晶・多層グラフェン
硬度	GPa	1.4
弾性率	GPa	11
一般的なコーティングの厚さ	μm	20～110
表面粗さ	μm	1.5
製品の純度	ppm	≤5ppm

3. アプリケーション

PyC コーティングされたグラファイトリングは、以下の分野で広く使用されています。

●SiC単結晶育成炉（PVT法）
●第3世代半導体用熱電界システム
●高温結晶成長絶縁構造
● 蒸気流誘導システム
●高温真空炉部品半導体熱管理システム

4. VeTek 半導体製造能力

VeTek Semiconductor は高度なコーティング材料と GR に重点を置いていますSiC およびその他の半導体用途向けのアファイト熱フィールド部品。私たちがやることは次のとおりです。

●高純度黒鉛精製
●精密CNC加工
●高度なCVD PyCコーティング
●大型熱分野部品の製造
● カスタム熱場ソリューション
● 厳格な半導体グレードの品質管理お客様の図面や炉構成に基づいてカスタムの PyC コーティングされたグラファイト部品も製造します。

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