スリーピース黒鉛るつぼ

主な特長
・精製後の灰分含有量が5ppm以下の高純度等方性黒鉛です。

· 3 ピースのモジュラー設計により、熱応力が最小限に抑えられ、耐用年数が延長されます。

・熱伝導性に優れ、温度分布が安定します。

・加熱・冷却を繰り返す耐熱衝撃性に優れています。

・オプションのCVD SiC、TaC、PyCコーティングに対応。

・精密CNC加工により、厳しい寸法公差を保証します。

・顧客の図面に従ってカスタムサイズと構造が利用可能。

仕様

アプリケーション
・PVT SiC結晶成長

・半導体熱場システム

・結晶成長炉

・高温真空炉

・化合物半導体結晶成長

・半導体研究開発設備

VETEK と協力する理由

・黒鉛の精製からコーティングまで完全自社生産。

· 高度な CNC 加工と半導体グレードの品質管理。

· オプションの SiC、TaC、および PyC コーティング技術。

・図面や設備型式に基づいた特注生産。

・グローバルな安定供給と安心の技術サポート。