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炭化シリコンセラミック(原文)シリコンと炭素を含む高度なセラミック材料です。早くも1893年には、人工的に合成されたSICパウダーは、研磨剤として大量生産され始めました。準備されたシリコン炭化物穀物は焼結するように非常に硬く形成することができます陶器、それですSICセラミック.
SICセラミック構造
SICセラミックには、高硬度、高強度と圧縮抵抗、高温安定性、良好な熱伝導率、腐食抵抗、低膨張係数の優れた特性があります。 SICセラミックは現在、自動車、環境保護、航空宇宙、電子情報、エネルギーなどの分野で広く使用されており、多くの産業分野でかけがえのない重要なコンポーネントまたはコア部分になっています。
現在、炭化シリコンセラミックの準備プロセスはに分かれています反応焼結, 圧迫されていない焼結, 熱いプレス焼結そして再結晶焼結。反応焼結は、最大の市場と生産コストが低いです。圧力のない焼結は高コストですが、優れたパフォーマンスを持っています。ホットプレス焼結は最高のパフォーマンスを持っていますが、高コストであり、主に航空宇宙や半導体などの高精度フィールドで使用されています。再結晶焼結は、パフォーマンスが低い多孔質材料を生成します。したがって、半導体産業で使用されるSICセラミックは、熱いプレスされた焼結によってしばしば調製されます。
他の7種類のSICと比較した、ホットプレスSICセラミック(HPSC)の相対的な利点と短所:
さまざまな生産方法によるSICの主要な市場とパフォーマンス
熱いプレス焼結によるSICセラミックの調製:
•原材料の準備:高純度の炭化物粉末は原料として選択されており、粉末の粒子サイズ分布が均一であることを確認するために、ボールミリング、スクリーニング、その他のプロセスによって前処理されます。
•金型デザイン:準備するシリコン炭化物セラミックのサイズと形状に応じて、適切な金型を設計します。
•カビの荷重と押された:前処理された炭化シリコン粉末は金型に積み込まれ、高温および高圧条件下で押されます。
•焼結と冷却:プレスが完成した後、カビとシリコン炭化物の空白は焼結のために高温炉に入れられます。焼結の過程で、炭化シリコン粉末は徐々に化学反応を起こし、密なセラミック体を形成します。焼結後、適切な冷却方法を使用して、製品は室温まで冷却されます。
ホットプレス炭水化物導入炉の概念図:
•(1)油圧プレスロードベクトル。
•(2)油圧プレススチールピストン。
•(3)ヒートシンク。
•(4)高密度グラファイト荷重伝達ピストン。
•(5)高密度グラファイトホットプレスダイ。
•(6)グラファイト負荷炉断熱材。
•(7)気密水冷炉カバー。
•(8)気密炉の壁に埋め込まれた水冷銅誘導コイルパイプ。
•(9)圧縮グラファイト繊維断熱層。
•(10)気密水冷炉。
•(11)力反応ベクターを示す油圧プレスフレーム負荷を負担する下部ビーム。
•(12)HPSCセラミックボディ
ホットプレスのSICセラミックは次のとおりです。
•ハイプーリティ:0.98%(単結晶SICは100%純粋です)。
•完全に濃い:100%密度は簡単に実現できます(単結晶SICは100%密度が高い)。
•Polycryスタリン.
•ウルトラフィングレインホットプレスSICセラミックス微細構造は簡単に100%密度を達成します。これにより、単結晶SICや直接焼結SICなど、他のすべての形態のSICよりも優れたホットプレスSICセラミックが優れています。
したがって、SICセラミックには、他のセラミック材料を上回る優れた特性があります。
半導体業界では、SICセラミックが広く使用されています。ウェーハ, ウェーハハンドリングエンドエフェクターウェーハ、および熱処理装置などの反応室の部品を輸送するため。
SICセラミックは、半導体業界全体で大きな役割を果たしており、半導体技術の継続的なアップグレードにより、より重要な立場を占めています。
現在、SICセラミックの焼結温度を下げ、新しい安価な生産プロセスを見つけることは、材料労働者の研究の焦点です。同時に、SICセラミックのすべての利点を調査および開発し、人類に利益をもたらすことは、Vetek半導体の主要なタスクです。 SICセラミックには幅広い開発とアプリケーションの見通しがあると考えています。
ベテセミオン焼結炭化物の物理的特性:
財産
典型的な値
化学組成
sic> 95%、<5%
バルク密度
> 3.07 g/cm³
見かけの多孔性
<0.1%
20℃での破裂の弾性率
270 MPa
1200℃での破裂の弾性率
290 MPA
20℃での硬度
2400 kg/mm²
20%の骨折靭性
3.3 MPa・m1/2
1200℃での熱伝導率
45 w/m.k
20-1200での熱膨張
4.51×10-6/℃
最大作業温度
1400℃
1200℃での熱衝撃耐性
良い
Vetek Semiconductorは、プロの中国のメーカーであり、のサプライヤーです 高純度SICウェーハボートキャリア、 高純度SICカンチレバーパドル、 SICカンチレバーパドル、 シリコン炭化物ウェーハボート、 MOCVD SICコーティング受容剤そして その他の半導体セラミック。 Vetek Semiconductorは、半導体業界向けのさまざまなコーティング製品に高度なソリューションを提供することに取り組んでいます。
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