高純度CVD SiCコーティングウェーハボート

1. コアパフォーマンス要素?

• 7Nレベルの純度:当社は 99.99999% (7N) の純度基準を維持しています。これは、長時間のドライブインまたは酸化ステップ中に金属汚染物質がウェーハに移行するのを防ぐためには譲れないものです。
• CVD シール (50 ～ 300μm):私たちは単に表面を「塗る」だけではありません。当社の 50 ～ 300 μm CVD SiC 層は、基板全体を完全にシールします。これにより多孔性が排除され、反応性ガスや強力な SPM/DHF 洗浄に繰り返しさらされた後でも、ボートが化学物質を捕らえたり粒子を落としたりすることがなくなります。
• 熱剛性:炭化ケイ素の自然な低い熱膨張により、これらのボートはまっすぐに保たれます。急速熱アニーリング (RTA) 中にたわんだりねじれたりすることがなく、ロボット アームが常に正しいスロットに引っかかることなく確実にヒットします。
• 持続的な収量:表面は副生成物の付着が少なくなるように設計されています。蓄積が少ないということは、ウェーハに当たる粒子が少なくなり、ウェットベンチ洗浄サイクル間の実行回数が増えることを意味します。
• カスタムジオメトリ:すべての工場には独自のセットアップがあります。横型炉または垂直 300 mm 自動ラインのいずれを実行している場合でも、当社はこれらをお客様の特定のピッチとスロットの図面に合わせて機械加工します。

2. プロセスの互換性

• 雰囲気：TMGa、AsH₃、高濃度O₂環境に耐性があります。
• 温度範囲:1400℃までの長期安定動作。
• 材料:ロジック、パワー、アナログウェーハの酸化および拡散プロセス向けに特別に設計されています。