ウルトラピュアグラファイト下半年ムーン

Vetek Semiconductorは、超純粋なグラファイト下半年を提供することに専念するプロのメーカーです。当社の製品Ultra Pure Graphite Lower HalfMoonは、SICエピタキシャルチャンバー用に特別に設計されており、さまざまな機器モデルと優れた性能と互換性を提供します。

特徴：

接続：Vetek Semiconductor Ultra Pure Graphite Lower Halfmoonは、石英チューブと接続するように設計されており、ガスの流れを促進してキャリアベースの回転を駆動します。

温度制御：製品により、温度制御が可能になり、反応チャンバー内の最適な条件が確保されます。

非接触設計：反応チャンバー内に設置されたウルトラ純粋なグラファイト下半ムーンは、ウェーファーに直接接触せず、プロセスの完全性を確保します。

アプリケーションシナリオ：

当社のウルトラピュアグラファイト下半ムーンは、SICエピタキシャルチャンバーの重要な成分として機能し、5 ppm未満の不純物の含有量を維持するのに役立ちます。厚さやドーピング濃度の均一性などのパラメーターを綿密に監視することにより、最高品質のエピタキシャル層を確保します。

互換性：

Vetek SemiconductorのUltra Pure Graphite Lower Halfmoonは、LPE、Naura、JSG、CETC、NASO Techなどの幅広い機器モデルと互換性があります。

中国の工場を訪れて、高品質のウルトラピュアグラファイト下半年ムーンを直接探索することをお勧めします。

CVD SICコーティングの基本的な物理的特性：

半導体生産ショップを比較：

半導体チップエピタキシー産業チェーンの概要：