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上半分日中部がコーティングされています
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上半分日中部がコーティングされています

Vetek Semiconductorは、中国でコーティングされたカスタマイズされたアッパーハーフムーンパートSICの大手サプライヤーであり、20年以上にわたって高度な材料を専門としています。 vetek半導体上半分moonパートSICコーティングは、反応チャンバー内の重要な成分として機能するSICエピタキシャル装置用に特別に設計されています。超純粋な半導体グレードグラファイトから作られ、優れた性能を確保します。中国の工場を訪問することをお勧めします。いつでも相談してください。

As the professional manufacturer, we would like to provide you high quality Upper Halfmoon Part SiC coated.

VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part SiC coated are specifically designed for the SiC epitaxial chamber. They have a wide range of applications and are compatible with various equipment models.

Application Scenario:

At VeTek Semiconductor, we specialize in manufacturing high-quality Upper Halfmoon Part SiC coated. Our SiC and TaC coated products are specifically designed for SiC epitaxial chambers and offer broad compatibility with different equipment models.

VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part SiC coated serves as components in the SiC epitaxial chamber. They ensure controlled temperature conditions and indirect contact with wafers, maintaining impurity content below 5 ppm.

To ensure optimal epitaxial layer quality, we carefully monitor critical parameters such as thickness and doping concentration uniformity. Our assessment includes analyzing film thickness, carrier concentration, uniformity, and surface roughness data to achieve a best product quality.

The VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part SiC coated is compatible with various equipment models, including LPE, NAURA, JSG, CETC, NASO TECH, and more.

Contact us today to explore our high-quality Upper Halfmoon Part SiC coated or schedule a visit to our factory.


Basic physical properties of CVD SiC coating:

Basic physical properties of CVD SiC coating
Property Typical Value
Crystal Structure FCC β phase polycrystalline, mainly (111) oriented
Density 3.21 g/cm³
Hardness 2500 Vickers hardness(500g load)
Grain Size 2~10μm
Chemical Purity 99.99995%
Heat Capacity 640 J·kg-1·K-1
Sublimation Temperature 2700℃
Flexural Strength 415 MPa RT 4-point
Young's Modulus 430 Gpa 4pt bend, 1300℃
Thermal Conductivity 300W·m-1·K-1
Thermal Expansion(CTE) 4.5×10-6K-1


CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE


VeTek Semiconductor Production Shop:

VeTek Semiconductor Production Shop


Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


ホットタグ: 上半分日中部がコーティングされています
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