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ウェハリフトピン
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ウェハリフトピン

Vetek Semiconductorは、中国の大手EPIウェーハリフトピンメーカーおよびイノベーターです。私たちは長年にわたってグラファイトの表面でのSICコーティングに特化しています。 EPIプロセス用のEPIウェーハリフトピンを提供しています。高品質で競争力のある価格で、中国の工場を訪れることを歓迎します。

VeTek Semiconductor が提供するSICコーティングそしてTaCコーティング競合価格と高品質の素材、お問い合わせください。


Vetek Semiconductor Epi Wafer Lift Pinは、半導体製造専用に設計された重要なデバイスです。ウェーハを持ち上げて輸送し、製造中の安全性と安定性を確保するために使用されます。SICコーティングされたウェーハリフトピン、チップピン、EPIプロセスの予熱リングを提供します。


当社の EPI ウェーハ リフト ピンには、次の機能と利点があります。

●高い精度と安定性: EPI ウェーハ リフト ピンは高度なプロセスと材料を使用して、ウェーハを持ち上げて取り扱う際の高い精度と安定性を保証します。ウェーハを正確に位置決めして固定することができ、製造中のウェーハのズレや損傷を回避します。

●安全性と信頼性: 当社の EPI ウェーハ リフト ピンは高強度材料で製造されており、優れた耐久性と信頼性を備えています。重量と圧力に耐えることができるため、取り扱い中にウェーハが損傷したり、誤って落下したりすることがありません。

●自動化と効率: VeTek Semiconductor EPI ウェーハ リフト ピンは、自律的に動作し、半導体製造装置とシームレスに統合されるように設計されています。ウェーハを迅速かつ正確に持ち上げて移動できるため、生産効率が向上し、手動操作の必要性が軽減されます。

●互換性と適用性:Epi Wafer Lift Pinsは、さまざまな直径や材料のウェーハを含む、幅広いサイズと種類のウェーハに適しています。さまざまな半導体製造機器とプロセスと互換性があり、さまざまな生産環境に適しています。

●高品質で安心のサポート:私たちは、高品質で信頼できる製品を提供し、顧客に包括的なサポートとサービスを提供することに取り組んでいます。ウェーハリフトピンは、パフォーマンスと耐久性を確保するために、厳格な品質管理とテストを受けます。


CVD SIC フィルムの SEM データ:

SEM DATA OF CVD SIC FILM

CVD SiC コーティングの基本物性:

基本物性CVD SiCコーティング
財産 典型的な値
結晶構造 FCCβ相多結晶、主に(111)配向
CVD SiC コーティング密度 3.21 g/cm3
SiCコーティング硬度 2500ビッカーズの硬度(500g負荷)
粒径 2〜10mm
化学純度 99.99995%
熱容量 640 J・kg-1・K-1
昇華温度 2700℃
曲げ強度 415 MPA RT 4ポイント
ヤング率 430 GPA 4PTベンド、1300℃
熱伝導率 300W・m-1・K-1
熱膨張(CTE) 4.5×10-6K-1


ヴェテック・セミコンダクター ウェハリフトピンプロダクションショップ

SiC Graphite substrateWafer Lift Pin testSilicon carbide ceramic processingEPI process equipment


半導体チップエピタキシー産業チェーンの概要:

SiC Epitaxy Si Epitaxy GaN Epitaxy

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