VETEK、新しい半導体製造拠点の竣工式を挙行

次世代半導体産業向けに高度な SiC、TaC、および PyC コーティング機能を拡大

2025 年、VETEK は新しい半導体製造拠点の竣工式を正式に祝い、同社の先進的な半導体材料とコーティング技術の拡大戦略における大きなマイルストーンを迎えました。

政府代表、戦略的パートナー、建設チーム、VETEK 従業員が集まり、この重要な瞬間を目撃し、新しい施設の急速な進歩を祝いました。

コンクリートの最後の部分が注入されると、式典は拍手と祝辞の中で最高潮に達しました。これは、建設段階の完了だけでなく、VETEK の将来の発展の新たな章の始まりを象徴するものでもありました。

半導体材料の製造能力の加速

この新しい生産拠点は、半導体プロセス材料および高温コーティング ソリューションに対する世界的な需要の急速な拡大に応えるため、VETEK にとって重要な戦略プロジェクトです。

この施設は、以下の点で VETEK の製造およびエンジニアリング能力を大幅に強化します。

• CVD 炭化ケイ素 (SiC) コーティング

• CVD 炭化タンタル (TaC) コーティング

• 熱分解炭素 (PyC) コーティング

• 固体炭化ケイ素（固体SiC）

• 高純度グラファイトコンポーネント

• 半導体熱フィールド材料

• 精密機械加工された半導体部品

新しい拠点が完全に稼働すると、以下をカバーする VETEK の統合生産能力がさらに強化されます。

• 黒鉛の精製

• 精密CNC加工

• 高度な CVD コーティング

• 半導体グレードの洗浄

• 品質検査と信頼性テスト

• 熱場の設計と最適化

主要な半導体プロセスをサポート

VETEK の製品は、次のような重要な半導体製造プロセスで広く使用されています。

• SiCエピタキシー

• シリコンエピタキシー

• MOCVDプロセス

• 結晶成長システム

• RTP およびエッチング アプリケーション

• 拡散および酸化プロセス

同社は、次のような主要な業界プラットフォームと互換性のあるカスタマイズされた半導体コンポーネントを提供しています。

•エクストロン

•ヴィーコ

• AMEC

•LPE

• ASM

• アプライド マテリアルズ (AMAT)

•ニューフレア

第 3 世代半導体、EV パワーデバイス、AI インフラストラクチャ、先端エネルギー用途の急速な成長に伴い、高純度のコーティング材料や熱分野コンポーネントの需要は世界中で増加し続けています。

先進のコーティング技術に注力

VETEK は、極限の半導体製造環境向けに設計された次世代コーティング技術に多額の投資を続けています。

CVD SiC コーティング

VETEK の CVD SiC コーティングされたグラファイト製品は以下を提供します。

• 優れた熱安定性

・優れた耐薬品性

• 粒子汚染が少ない

• 高純度のパフォーマンス

• 過酷なプロセス条件下でも長寿命

これらの製品は次の用途に広く使用されています。

• エピタキシーサセプタ

• ウェーハキャリア

• バレルサセプター

• 半月パーツ

• SiC/GaN エピタキシー用プロセスコンポーネント

超高温用途向けの TaC コーティング

同社の主要な開発方向の 1 つとして、VETEK の TaC コーティング技術は 2000°C を超える超高温結晶成長環境向けに設計されています。

従来の SiC コーティングと比較して、TaC コーティングは以下を提供します。

• より高い熱安定性

• 優れた耐腐食性能

• 黒鉛汚染に対する優れた耐性

• 結晶成長環境の安定性の向上

TaC コーティング製品は以下の分野でますます重要になっています。

・SiC単結晶成長

• PVT システム

• 最先端の半導体熱フィールド

熱分解炭素 (PyC) コーティング

VETEK は、以下を特徴とする高密度 PyC コーティング ソリューションも提供しています。

• 緻密で細孔のない表面

・優れた耐熱衝撃性

• 高真空対応性

• 超高純度のパフォーマンス

PyC コーティングは以下の分野で広く使用されています。

・半導体熱処理

・結晶成長炉

• 高温真空システム

半導体材料の未来を築く

式典中、プロジェクト建設チームは、施設の円滑な引き渡しを確実にするために最高のエンジニアリングと品質基準を維持する取り組みを強調した。

新しい製造拠点は、先進的な半導体材料の工業化における「VETEK Speed」を表し、技術革新と世界的な供給能力を加速するという同社の決意を示しています。

VETEK は今後も次のことに注力していきます。

• 高度な半導体コーティング技術

• 高純度材料の革新

• 熱場工学

• 半導体のローカリゼーションとサプライチェーンの信頼性

当社は、継続的な技術革新と高品質の製造を通じて世界の半導体産業の発展をサポートすることに引き続き取り組んでいます。

新たなマイルストーン、新たな旅

竣工式はVETEKの新たな出発点を示します。

最先端の半導体材料サプライヤーになるというビジョンを掲げ、この新しい製造拠点はVETEKの将来の成長をさらに強化し、世界の半導体材料市場における地位を強化します。

半導体業界が高温化、ウェハサイズの大型化、純度要件の厳格化に向けて進化を続ける中、VETEK は世界中の顧客とともに次世代の半導体製造に向けて前進する準備ができています。