MOCVD用高純度不透明石英シールド&シャッター

1. 技術仕様

お客様の技術図面に基づいて高精度の機械加工を提供し、お客様の特定の装置モデルに完璧にフィットします。

2. 主要な応用分野

● MOCVDプロセス保護：反応環境を保護するために不可欠な内部シールド/ライナーとして機能します。

● 半導体エピタキシー: 薄膜成長時の流量と温度の安定化のための高精度シャッターとして使用されます。

● ワイドバンドギャップ半導体製造: GaN およびその他の先端材料の要求の高い環境に適合します。

3. VETEK クォーツ ソリューションを選ぶ理由?

● 優れた熱放射管理: 当社の乳白色の石英には高密度のマイクロバブルが含まれており、高温の熱放射 (>1000°C) を効果的に散乱させて遮断します。発熱体からの可視光および近赤外線を吸収し遠赤外線に変換し、均一性の高い加熱を実現します。
● 汚染管理と簡単なメンテナンス: 石英シールドは、犠牲または交換可能なインナーライナーとして、高価なチャンバー壁やヒーターへの副生成物の堆積を防ぎ、反応チャンバーを清潔に保ちます。これらの部品は、湿式洗浄 (SPM+DHF 溶液など) によって再生したり、簡単に交換したりして、高いウェーハ歩留まりを確保できます。
● 優れた耐薬品性: VETEK クォーツは、頻繁な熱サイクルに耐え、金属有機物 (TMGa など) や水素化物 (AsH₃ など) による腐食に耐えるように設計されています。
● 精密なプロセス制御: 当社の石英シャッターは、赤外線またはフィラメント加熱下でも高い寸法安定性を維持します。熱慣性が低いため、迅速な機械的応答が可能になり、正確な「原子レベル」の成長制御が可能になり、マルチウェーハまたはマルチプロセス切り替え時の相互汚染を防止できます。
● 費用対効果の高い代替品: 予算要件が厳しいプロジェクトの場合、当社の石英製品はコーティングされたグラファイトと比較して信頼性の高いエントリーポイントを提供し、MOCVD システムに不可欠な保護と機能を提供します。