業界ニュース

A decade of SiC evolution — from early 4-inch commercialization challenges to today's 8-inch wafer transition. Discover how CVD SiC coatings, Solid SiC, and TaC materials enable reliable semiconductor manufacturing.

CVD SiC コーティングされたグラファイト サセプターが、SiC、GaN、LED、およびシリコン半導体製造において、熱均一性の向上、汚染の削減、コンポーネントの寿命の延長により、エピタキシャル成長をどのように強化するかを学びます。

TaC コーティングされたグラファイト ヒーターが、従来の pBN コーティングされたヒーターと比較して、どのように GaN MOCVD エピタキシーの温度均一性を高め、エネルギー消費を削減し、耐用年数を延長するかをご覧ください。