業界ニュース

クォーツデバイスは、太陽電池の製造において重要な役割を果たし、高温プロセスで必要な並外れた熱抵抗、化学純度、および構造的安定性を提供します。石英拡散チューブやるつぼからクォーツボートや炉成分まで、これらの高純度材料は、拡散、CVD、およびウェットエッチングステップで最適な効率を達成するために不可欠です。

TACコーティングは、グラファイトるつぼとSIC溶融物との間の直接的な接触を分離することにより、炭素カプセル化現象をほぼ完全に排除し、微小管の欠陥密度を大幅に減少させます

SICセラミックは、シリコン（SI）と炭素（C）要素の反応によって生成されるセラミック材料であり、非常に高い硬度、耐熱性、化学的安定性を特徴としています

半導体製造のハイステークスの世界では、精度と安定性がすべてです。それが静電チャック（ESC）が介入するところです。保持ツールだけでなく、ESCは静電力を使用して、エッチング、堆積、イオンの着床などの重要なプロセス中にしっかりと覆われています。しかし、それは実際にどのように機能しますか？なぜそれが従来の機械的クランプよりも優れているのですか？そして、ナノスケールの精度とスループット効率を達成する上でどのような役割が果たしていますか？読んでください。

静電チャックのデカックの原理は、静電力の除去とウェーハ放出メカニズムを含むワークフローの重要な部分です。

Glassy Carbonは、ガラスとセラミックの特性を組み合わせた非引力炭素です。高温抵抗、耐食性、良好な電気伝導性などの多くの特性があります。このブログは、読む価値のあるガラス炭素の研究履歴と将来の開発動向を分析しています。