炭化タンタルコーティング

VeTek Semiconductor は、お客様向けに TaC コーティングされたグラファイト ウェーハ キャリアを慎重に設計しました。高純度グラファイトとTaCコーティングで構成されており、各種ウエハエピタキシャルウエハの加工に適しています。当社は長年にわたりSiCおよびTaCコーティングに特化してきました。 SiC コーティングと比較して、当社の TaC コーティングされたグラファイト ウェーハ キャリアは、より高い耐熱性と耐摩耗性を備えています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。