炭化タンタルコーティング

VeTek Semiconductor は、中国におけるタンタルカーバイドコーティング遊星回転ディスクの大手メーカーおよびサプライヤーであり、長年にわたって TaC コーティング技術に注力してきました。当社の製品は高純度で優れた高温耐性を有しており、半導体メーカーから広く認められています。 VeTek Semiconductor タンタルカーバイドでコーティングされた遊星回転ディスクは、ウェーハエピタキシー業界のバックボーンとなっています。私たちは、お客様との長期的なパートナーシップを確立し、技術の進歩と生産の最適化を共同で推進できることを楽しみにしています。

VeTek Semiconductor は、お客様向けに TaC コーティングされたグラファイト ウェーハ キャリアを慎重に設計しました。高純度グラファイトとTaCコーティングで構成されており、各種ウエハエピタキシャルウエハの加工に適しています。当社は長年にわたりSiCおよびTaCコーティングに特化してきました。 SiC コーティングと比較して、当社の TaC コーティングされたグラファイト ウェーハ キャリアは、より高い耐熱性と耐摩耗性を備えています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。