LED EPI受容器は、優れた熱伝導率と高温抵抗が優れています。通常、容疑者は高温環境(1000°Cを超える)で動作する必要があり、その材料はグラファイトまたは炭化シリコンで作られています。これらの材料には、高い融点(グラファイト融点などの約3650°Cなど)と優れた熱伝導率(炭化シリコンの熱伝導率が約120 w/m・Kなど)があり、効率的な熱伝達が保証されます。
LED EPI受容器には、優れた熱伝導率が組み込まれており、熱を効率的に放散して、エピタキシャルウェーハの安定した成長温度を維持します。この重要な機能により、プロセスの安定性と一貫性が向上し、一貫した高品質のLED成長が確保されます。パフォーマンスをさらに向上させるために、LED EPI受容器はプレミアム炭化物(TAC)薄膜でコーティングされています。TACコーティング製品の耐久性と信頼性を大幅に向上させ、長期にわたる最適なパフォーマンスを確保します。
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