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LED EPI
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LED EPI

Vetek Semiconductorは、TACコーティングとSICコーティンググラファイト部品の大手サプライヤーです。私たちは、LEDエピタキシープロセスに不可欠な最先端のLED EPI受容器の生産を専門としています。あなたのさらなる相談を楽しみにしています。

専門のLED EPI受容者サプライヤーおよびメーカーとして、Vetek半導体は高品質のLED EPI受容器を提供したいと考えています。


VeteksemiconのLED EPI Comptectorは、LEDエピタキシー成長プロセス用に設計された最先端の製品です。この高品質の受容器は、LEDエピタキシーのウェーハキャリアとして機能し、本質的なサポートを提供し、LEDエピタキシャルウェーハの成長を維持します。


LED EPI受容器は、優れた熱伝導率と高温抵抗が優れています。通常、容疑者は高温環境(1000°Cを超える)で動作する必要があり、その材料はグラファイトまたは炭化シリコンで作られています。これらの材料には、高い融点(グラファイト融点などの約3650°Cなど)と優れた熱伝導率(炭化シリコンの熱伝導率が約120 w/m・Kなど)があり、効率的な熱伝達が保証されます。


さらに、ベテクシミュン受容器の表面は非常に平坦であり、基板との密接な接触を保証します。同時に、黒鉛または炭化シリコン材料また、有意な化学的不活性性があり、反応性ガス(NH₃、TMGAなど)との副反応を回避し、エピタキシャル層の汚染を防止します。


LED EPI受容器には、優れた熱伝導率が組み込まれており、熱を効率的に放散して、エピタキシャルウェーハの安定した成長温度を維持します。この重要な機能により、プロセスの安定性と一貫性が向上し、一貫した高品質のLED成長が確保されます。パフォーマンスをさらに向上させるために、LED EPI受容器はプレミアム炭化物(TAC)薄膜でコーティングされています。TACコーティング製品の耐久性と信頼性を大幅に向上させ、長期にわたる最適なパフォーマンスを確保します。


VeteksemiconのLED EPI Comptectorは、さまざまなLEDエピタキシー機器とプロセスとのシームレスな互換性を誇っており、多様なエピタキシャルウェーハ成長要件のための多用途のソリューションになっています。同時に、Veteksemiconは、半導体エピタキシャル処理技術の高度な技術と製品ソリューションの提供に取り組んでいます。ご参加いただき、心からお待ちしております。


TACコーティングの基本的な物理的特性:

炭化物コーティングの物理的特性
密度 14.3(g/cm³)
特定の放射率 0.3
熱膨張係数 6.3*10-6/k
硬度(hk) 2000 HK
抵抗 1×10-5オーム*cm
熱安定性 <2500℃
グラファイトサイズの変更 -10〜-20um
厚さ ≥20um典型的な値(35um±10um)


ディーラー半導体

VeTek Semiconductor LED EPI Susceptor Production Shop

半導体チップエピタキシー産業チェーンの概要:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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