TaC コーティングを施した MOCVD サセプタ

VeTek Semiconductor は、MOCVD サセプタを専門とする中国の大手メーカー、サプライヤー、輸出業者です。TaCコーティング。 TACコーティングを備えた最新の販売、低価格、および高品質のMOCVD受容器を購入するために、私たちの工場に来ることを歓迎します。私たちはあなたと協力することを楽しみにしています。

LED エピタキシーは、結晶の品質管理、材料の選択とマッチング、構造設計と最適化、プロセス制御と一貫性、光抽出効率などの課題に直面しています。適切なエピタキシー ウェーハ キャリア材料を選択することが重要であり、それを炭化タンタル (TaC) 薄膜でコーティングする (TaC コーティング) と、さらなる利点が得られます。

エピタキシーウェーハキャリア材料を選択する場合、いくつかの重要な要因を考慮する必要があります。

● 温度耐性と化学的安定性: LED エピタキシー プロセスには高温が必要であり、化学薬品の使用が含まれる場合があります。したがって、高温および化学的環境におけるキャリアの安定性を確保するには、良好な温度耐性と化学的安定性を備えた材料を選択する必要があります。

●表面平坦性と耐摩耗性：エピタキシーウェーハキャリアの表面は、エピタキシーウェーハの均一な接触と安定した成長を確保するために良好な平坦性を持つ必要があります。さらに、表面の損傷と摩耗を防ぐために、耐摩耗性が重要です。

●熱伝導率: 熱伝導率の良い材料を選択すると、熱が効果的に放散され、エピタキシー層の安定した成長温度が維持され、プロセスの安定性と一貫性が向上します。

この点で、TACでエピタキシーウェーハキャリアをコーティングすると、次の利点があります。

●高温安定性：TACコーティングは優れた高温安定性を示し、高温エピタキシープロセス中にその構造と性能を維持し、優れた温度耐性を提供します。

●化学的安定性: TaC コーティングは一般的な化学物質や大気による腐食に耐性があり、キャリアを化学的劣化から保護し、耐久性を高めます。

●硬度と耐摩耗性：TaCコーティングは高い硬度と耐摩耗性を備え、エピタキシーウェーハキャリアの表面を強化し、損傷や摩耗を軽減し、寿命を延ばします。

●熱伝導率: TaC コーティングは良好な熱伝導率を示し、熱放散を促進し、エピタキシー層の安定した成長温度を維持し、プロセスの安定性と一貫性を向上させます。

したがって、TACコーティングを備えたエピタキシーウェーハキャリアを選択すると、LEDエピタキシーの課題に対処し、高温および化学環境の要件を満たします。このコーティングは、高温の安定性、化学的安定性、硬度と耐摩耗性、熱伝導性などの利点を提供し、エピタキシーウェーハキャリアのパフォーマンスの向上、寿命、生産効率に寄与します。