炭化ケイ素コーティング

VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。

当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハキャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。

VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミックコーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。

当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色LED、緑色LED、UV LED、深紫外などのさまざまなLEDタイプのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 炭化ケイ素コーティングのパラメータ

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	代表値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
SiCコーティングの密度	3.21 g/cm3
SiCコーティング硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640J・kg^-1・K^-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m^-1・K^-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC膜の結晶構造

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

炭化ケイ素でコーティングされたエピサセプタ SiCコーティングウェーハキャリア MOCVD用SiCコートサテライトカバー CVD SiC コーティングウェーハエピサセプタ CVD SiCコーティング発熱体 Aixtron サテライトウェーハキャリア SiCコーティングエピレシーバー SiCコーティング半月型グラファイトパーツ

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EPIウェーハホルダー

Vetek Semiconductorは、中国のプロのEPIウェーハホルダーメーカーおよび工場です。 Epi Wafer Holderは、半導体処理におけるエピタキシープロセスのウェーハホルダーです。これは、ウェーハを安定させ、エピタキシャル層の均一な成長を確保するための重要なツールです。 MOCVDやLPCVDなどのエピタキシー機器で広く使用されています。エピタキシープロセスにおけるかけがえのないデバイスです。あなたのさらなる相談を歓迎します。

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Aixtron Satellite Waferキャリア

Vetek SemiconductorのAixtron Satellite Waferキャリアは、主にMOCVDプロセスで使用されるAixtron機器で使用されるウェーハキャリアであり、特に高温および高精度の半導体処理プロセスに適しています。キャリアは、層堆積プロセスに不可欠なMOCVDエピタキシャル成長中に、安定したウェーハサポートと均一なフィルム堆積を提供できます。あなたのさらなる相談を歓迎します。

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LPEハーフムーンSIC EPIリアクター

Vetek Semiconductorは、中国の専門的なLPE Halfmoon SIC EPI Reactor製品メーカー、イノベーター、リーダーです。 LPEハーフムーンSIC EPIリアクターは、主に半導体産業で使用される高品質の炭化シリコン（SIC）エピタキシャル層を生産するために特別に設計されたデバイスです。あなたのさらなるお問い合わせへようこそ。

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したがって、EPIレシーバーをコーティングします

Vetek Semiconductorは、中国のSICコーティングEPI受容器製品のイノベーターである大手メーカーです。長年にわたり、SICコーティングEPI受容器、SICコーティングALD受容器などのさまざまなSICコーティング製品に焦点を当ててきました。さらなる相談を歓迎します。

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CVD SiCコーティングスカート

VeTek Semiconductor は、中国における CVD SiC コーティングスカートの大手メーカーおよびリーダーです。当社の主なCVD SiCコーティング製品には、CVD SiCコーティングスカート、CVD SiCコーティングリングが含まれます。ご連絡をお待ちしております。

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UV LEDエピレシーバー

中国の大手半導体サセプタ製品メーカーおよびリーダーとして、VeTek Semiconductor は、UV LED エピサセプタ、SiC コーティングサセプタ、MOCVD サセプタなどのさまざまなタイプのサセプタ製品に注力してきました。 VeTekSemi はカスタマイズされた製品サービスをサポートしており、ご相談をお待ちしております。

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中国の専門家炭化ケイ素コーティングメーカーおよびサプライヤーとして、私たちは独自の工場を持っています。あなたの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要であるか、中国製の高度で耐久性のある炭化ケイ素コーティングを購入したい場合でも、メッセージを残すことができます。