炭化ケイ素コーティング

VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。

当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハキャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。

VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミックコーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。

当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色LED、緑色LED、UV LED、深紫外などのさまざまなLEDタイプのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 炭化ケイ素コーティングのパラメータ

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	代表値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
SiCコーティングの密度	3.21 g/cm3
SiCコーティング硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640J・kg^-1・K^-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m^-1・K^-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC膜の結晶構造

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

炭化ケイ素でコーティングされたエピサセプタ SiCコーティングウェーハキャリア MOCVD用SiCコートサテライトカバー CVD SiC コーティングウェーハエピサセプタ CVD SiCコーティング発熱体 Aixtron サテライトウェーハキャリア SiCコーティングエピレシーバー SiCコーティング半月型グラファイトパーツ

View as

MOCVD SiCコーティングサセプタ

VeTek Semiconductor は、中国における MOCVD SiC コーティングサセプタの大手メーカーおよびサプライヤーであり、長年にわたり SiC コーティング製品の研究開発と生産に注力しています。当社の MOCVD SiC コーティングサセプタは、優れた高温耐性、良好な熱伝導率、低い熱膨張係数を備えており、シリコンまたは炭化ケイ素 (SiC) ウェーハの支持と加熱、および均一なガス蒸着において重要な役割を果たします。さらにご相談を歓迎します。

もっと見る >> お問い合わせを送信 >>

SiCコーティング半月型グラファイトパーツ

プロの半導体メーカーおよびサプライヤーとして、Vetek半導体は、SICエピタキシャル成長システムに必要なさまざまなグラファイトコンポーネントを提供できます。これらのSICコーティングハーフムーングラファイト部品は、エピタキシャル反応器のガス入口セクション用に設計されており、半導体製造プロセスの最適化に重要な役割を果たします。 Vetek Semiconductorは、常に最も競争力のある価格で最高品質の製品を顧客に提供するよう努めています。 Vetek Semiconductorは、中国で長期的なパートナーになることを楽しみにしています。

もっと見る >> お問い合わせを送信 >>

ホットゾーングラファイトヒーター

Veteksemicon Hot Zone Graphite Heaterは、高温炉の極端な条件を処理し、化学蒸気堆積（CVD）、エピタキシャル成長、高温アニーリングなどの複雑なプロセスで優れた性能と安定性を維持するように設計されています。 Veteksemiconは、高品質のホットゾーングラファイトヒーターの生産と提供に常に焦点を当てています。私たちはあなたに私たちに連絡するように心から招待します。

もっと見る >> お問い合わせを送信 >>

veeco mocvdヒーター

Vetek Semiconductorは、中国のVeeco Mocvdヒーター製品の大手メーカーおよびサプライヤーです。 MOCVDヒーターは、優れた化学純度、熱安定性、耐食性を備えています。これは、金属有機化学蒸気堆積（MOCVD）プロセスに不可欠な製品です。あなたのさらなるお問い合わせへようこそ。

もっと見る >> お問い合わせを送信 >>

Veeco Mocvdプロビデンス

中国のVeeco MOCVD Suctenceptor製品の大手メーカーおよびサプライヤーとして、Vetek SemiconductorのMOCVD Suctenceptorは、現代の半導体製造プロセスの複雑な要件を満たすために特別にカスタマイズされたイノベーションとエンジニアリングの卓越性の頂点を表しています。さらにお問い合わせください。

もっと見る >> お問い合わせを送信 >>