炭化ケイ素コーティング

VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。

当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハキャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。

VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミックコーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。

当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色LED、緑色LED、UV LED、深紫外などのさまざまなLEDタイプのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 炭化ケイ素コーティングのパラメータ

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	代表値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
SiCコーティングの密度	3.21 g/cm3
SiCコーティング硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640J・kg^-1・K^-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m^-1・K^-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC膜の結晶構造

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

炭化ケイ素でコーティングされたエピサセプタ SiCコーティングウェーハキャリア MOCVD用SiCコートサテライトカバー CVD SiC コーティングウェーハエピサセプタ CVD SiCコーティング発熱体 Aixtron サテライトウェーハキャリア SiCコーティングエピレシーバー SiCコーティング半月型グラファイトパーツ

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CVD SICコーティング加熱要素

CVD SICコーティング加熱要素は、PVD炉の加熱材料において中核的な役割を果たします（蒸発堆積）。 Vetek Semiconductorは、中国の大手CVD SICコーティング暖房元素メーカーです。高度なCVDコーティング機能があり、カスタマイズされたCVD SICコーティング製品を提供できます。 Vetek Semiconductorは、SICコーティング加熱要素のパートナーになることを楽しみにしています。

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グラファイト回転サポート

高純度グラファイト回転容疑者は、窒化ガリウム（MOCVDプロセス）のエピタキシャル成長に重要な役割を果たします。 Vetek Semiconductorは、中国の主要なグラファイト回転容疑者の製造業者およびサプライヤーです。半導体産業の要件を完全に満たす高純度グラファイト材料に基づいて、多くの高純度グラファイト製品を開発しました。 Vetek Semiconductorは、グラファイト受容器の回転にパートナーになることを楽しみにしています。

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高純度グラファイトリング

高純度グラファイトリングは、ガンエピタキシャル成長プロセスに適しています。彼らの優れた安定性と優れた性能により、それらは広く使用されています。 Vetek Semiconductorは、Ganエピタキシー産業が進歩し続けるのを助けるために、世界をリードする高純度グラファイトリングを生産および製造しています。 Veteksemiは、中国であなたのパートナーになることを楽しみにしています。

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CVD SIC PANCAKE CEMTEPTOR

中国のCVD SIC Pancake Sumpector製品の大手メーカーおよび革新者として。 vetek半導体CVD SICパンケーキ容疑者は、半導体機器向けに設計されたディスク型コンポーネントとして、高温のエピタキシャル堆積中に薄い半導体ウェーハをサポートする重要な要素です。 Vetek Semiconductorは、高品質のSICパンケーキ容疑者製品を提供し、競争力のある価格で中国の長期パートナーになることに取り組んでいます。

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MOCVD用SiCコーティンググラファイトサセプタ

VeTek Semiconductor は、中国における MOCVD 用の SiC コーティングされたグラファイトサセプターの大手メーカーおよびサプライヤーであり、半導体業界向けの SiC コーティングアプリケーションおよびエピタキシャル半導体製品を専門としています。当社の MOCVD SiC コーティングされたグラファイトサセプタは、競争力のある品質と価格を提供し、ヨーロッパとアメリカの市場にサービスを提供しています。当社は、半導体製造の進歩において、お客様の長期にわたる信頼できるパートナーとなることに全力で取り組んでいます。

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CVD SICコーティングエピタキシー受容者

Vetek半導体のCVD SICコーティングエピタキシー受容体は、半導体ウェーハの取り扱いと処理用に設計された精密工学ツールです。このSICコーティングエピタキシー受容装置は、薄膜、てんかん、その他のコーティングの成長を促進する上で重要な役割を果たし、温度と材料の特性を正確に制御できます。さらにお問い合わせください。

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中国の専門家炭化ケイ素コーティングメーカーおよびサプライヤーとして、私たちは独自の工場を持っています。あなたの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要であるか、中国製の高度で耐久性のある炭化ケイ素コーティングを購入したい場合でも、メッセージを残すことができます。