炭化ケイ素コーティング

VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。

当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハキャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。

VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミックコーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。

当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色LED、緑色LED、UV LED、深紫外などのさまざまなLEDタイプのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 炭化ケイ素コーティングのパラメータ

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	代表値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
SiCコーティングの密度	3.21 g/cm3
SiCコーティング硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640J・kg^-1・K^-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m^-1・K^-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC膜の結晶構造

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

炭化ケイ素でコーティングされたエピサセプタ SiCコーティングウェーハキャリア MOCVD用SiCコートサテライトカバー CVD SiC コーティングウェーハエピサセプタ CVD SiCコーティング発熱体 Aixtron サテライトウェーハキャリア SiCコーティングエピレシーバー SiCコーティング半月型グラファイトパーツ

View as

MOCVD用SiCコーティンググラファイトサセプタ

VeTek Semiconductor は、中国における MOCVD 用の SiC コーティングされたグラファイトサセプターの大手メーカーおよびサプライヤーであり、半導体業界向けの SiC コーティングアプリケーションおよびエピタキシャル半導体製品を専門としています。当社の MOCVD SiC コーティングされたグラファイトサセプタは、競争力のある品質と価格を提供し、ヨーロッパとアメリカの市場にサービスを提供しています。当社は、半導体製造の進歩において、お客様の長期にわたる信頼できるパートナーとなることに全力で取り組んでいます。

もっと見る >> お問い合わせを送信 >>

CVD SICコーティングエピタキシー受容者

Vetek半導体のCVD SICコーティングエピタキシー受容体は、半導体ウェーハの取り扱いと処理用に設計された精密工学ツールです。このSICコーティングエピタキシー受容装置は、薄膜、てんかん、その他のコーティングの成長を促進する上で重要な役割を果たし、温度と材料の特性を正確に制御できます。さらにお問い合わせください。

もっと見る >> お問い合わせを送信 >>

CVD SICコーティングリング

CVD SiCコーティングリングはハーフムーンパーツの重要なパーツの一つです。他の部品とともにSiCエピタキシャル成長反応室を形成します。 VeTek Semiconductor は、CVD SiC コーティングリングの専門メーカーおよびサプライヤーです。お客様の設計要件に応じて、対応するCVD SiCコーティングリングを最も競争力のある価格で提供できます。 VeTek Semiconductor は、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

もっと見る >> お問い合わせを送信 >>

CVD SICコーティングバレル受容器

Vetek Semiconductorは、中国のCVD SICコーティンググラファイト受容器の大手メーカーおよび革新者です。当社のCVD SICコーティングバレル受容器は、優れた製品特性を備えたウェーハ上の半導体材料のエピタキシャル成長を促進する上で重要な役割を果たしています。あなたのさらなる相談へようこそ。

もっと見る >> お問い合わせを送信 >>

MOCVD SiCコーティングサセプタ

VeTek Semiconductor は、中国における MOCVD SiC コーティングサセプタの大手メーカーおよびサプライヤーであり、長年にわたり SiC コーティング製品の研究開発と生産に注力しています。当社の MOCVD SiC コーティングサセプタは、優れた高温耐性、良好な熱伝導率、低い熱膨張係数を備えており、シリコンまたは炭化ケイ素 (SiC) ウェーハの支持と加熱、および均一なガス蒸着において重要な役割を果たします。さらにご相談を歓迎します。

もっと見る >> お問い合わせを送信 >>

SiCコーティング半月型グラファイトパーツ

プロの半導体メーカーおよびサプライヤーとして、Vetek半導体は、SICエピタキシャル成長システムに必要なさまざまなグラファイトコンポーネントを提供できます。これらのSICコーティングハーフムーングラファイト部品は、エピタキシャル反応器のガス入口セクション用に設計されており、半導体製造プロセスの最適化に重要な役割を果たします。 Vetek Semiconductorは、常に最も競争力のある価格で最高品質の製品を顧客に提供するよう努めています。 Vetek Semiconductorは、中国で長期的なパートナーになることを楽しみにしています。

もっと見る >> お問い合わせを送信 >>

中国の専門家炭化ケイ素コーティングメーカーおよびサプライヤーとして、私たちは独自の工場を持っています。あなたの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要であるか、中国製の高度で耐久性のある炭化ケイ素コーティングを購入したい場合でも、メッセージを残すことができます。