LEDエピタキシーサセプタ

青色および緑色 LED 製造の分野において、LED エピタキシー サセプタは、現在の市場で最高の製品の 1 つとして、VeTek Semiconductor の強力な製造能力を実証しています。優れた性能を兼ね備え、炭化ケイ素コーティングSGL グラファイトの優れた特性を備えたこのサセプターは、LED エピタキシャル成長に比類のないサポートを提供し、LED 企業が熾烈な市場競争で目立つように支援します。

コア材料の利点

(I) 炭化ケイ素コーティング

炭化ケイ素コーティングにより、LED エピタキシャル サセプタに優れた表面硬度が与えられ、LED エピタキシャル成長中のさまざまな物理的磨耗や傷に耐えることができます。表面の平坦性と平滑性を長期間維持することで、エピタキシャル層の成長の均一性が影響を受けず、製品の歩留まりと一貫性が効果的に向上します。これにより、結晶欠陥の形成が減少し、青色および緑色 LED の発光効率と電気的性能が大幅に向上します。同時に、炭化ケイ素コーティング化学的安定性に優れています。 MOCVD装置内の化学反応物質と反応しないため、不純物の混入やコーティングの腐食が回避されます。

(II) SGLグラファイト

ヴェテック・セミコンダクターは基板として SGL グラファイトを使用しています。青色および緑色 LED のエピタキシャル成長中に、SGL グラファイトは反応によって発生した熱を素早く伝導し、サセプターの温度勾配を効果的に低減し、成長領域全体の温度均一性を確保します。これは、熱応力によって引き起こされる結晶欠陥を軽減し、LED チップの結晶品質と信頼性を向上させるのに役立ちます。

SGL グラファイトの優れた加工性能により、サセプタをさまざまな複雑な形状やサイズに正確に加工して、さまざまな種類の MOCVD 装置や LED 製造プロセスのニーズを満たすことができます。

SiCコーティングの技術的性能指標

ヴェテック・セミコンダクターには、LED エピタキシー サセプタに関するあらゆる技術コンサルティング サービスを顧客に提供できる専門技術チームがあります。製品の原理や特性、実際のアプリケーションにおけるプロセスの最適化や問題解決など、当社の専門家が詳細かつ専門的な指導を行い、お客様の技術レベルと生産能力を向上させます。

CVD SICコーティング膜のSEMデータ

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