炭化ケイ素コーティング

VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。

当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハキャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。

VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミックコーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。

当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色LED、緑色LED、UV LED、深紫外などのさまざまなLEDタイプのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 炭化ケイ素コーティングのパラメータ

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	代表値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
SiCコーティングの密度	3.21 g/cm3
SiCコーティング硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640J・kg^-1・K^-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m^-1・K^-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC膜の結晶構造

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

炭化ケイ素でコーティングされたエピサセプタ SiCコーティングウェーハキャリア MOCVD用SiCコートサテライトカバー CVD SiC コーティングウェーハエピサセプタ CVD SiCコーティング発熱体 Aixtron サテライトウェーハキャリア SiCコーティングエピレシーバー SiCコーティング半月型グラファイトパーツ

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MOCVDサポート

MOCVD受容器は、惑星椎間板で特徴付けられ、エピタキシーの安定した性能のためにプロフェッションがあります。 Vetek Semiconductorは、この製品の機械加工とCVD SICコーティングの豊富な経験を持っています。実際のケースについて私たちとコミュニケーションをとることができます。

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予熱リング

予熱リングは、半導体エピタキシープロセスでウェーハを予熱し、ウェーハの温度をより安定かつ均一にするために使用されます。これは、エピタキシー層の高品質な成長にとって非常に重要です。 Vetek Semiconductor は、高温での不純物の揮発を防ぐためにこの製品の純度を厳密に管理しています。詳しいご相談を歓迎します。

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ウェハリフトピン

Vetek Semiconductorは、中国の大手EPIウェーハリフトピンメーカーおよびイノベーターです。私たちは長年にわたってグラファイトの表面でのSICコーティングに特化しています。 EPIプロセス用のEPIウェーハリフトピンを提供しています。高品質で競争力のある価格で、中国の工場を訪れることを歓迎します。

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SICコーティングバレル受容器

エピタキシーは、既存のチップ上で新しい結晶を栽培して新しい半導体層を作成するために半導体デバイス製造で使用される技術です。VetekSemiconductorは、LPEシリコンエピタキシー反応チャンバーの包括的なコンポーネントソリューションを提供し、長寿命、安定した品質、および改善されたエピタキシアルを提供します。層の収量。 SICコーティングバレル受容器などの当社の製品は、顧客からポジションフィードバックを受け取りました。また、SI EPI、SIC EPI、MOCVD、UV主導のエピタキシーなどの技術サポートも提供しています。価格情報についてお問い合わせください。

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EPIレシーバーの場合

中国のトップ工場であるVetek Semiconductorは、精密機械加工と半導体SiCおよびTaCコーティング能力を兼ね備えています。バレル型Siエピサセプタは温度・雰囲気制御機能を備え、半導体エピタキシャル成長プロセスの生産効率を向上させます。貴社との協力関係を確立することを楽しみにしています。

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したがって、コーティングされたエピ科学

炭化ケイ素および炭化タンタルコーティングの国内トップメーカーとして、VeTek Semiconductor は、SiC コーティングされたエピサセプターの精密機械加工と均一なコーティングを提供し、コーティングと製品の純度を 5ppm 以下に効果的に制御することができます。製品寿命はSGLと同等です。お問い合わせお待ちしております。

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中国の専門家炭化ケイ素コーティングメーカーおよびサプライヤーとして、私たちは独自の工場を持っています。あなたの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要であるか、中国製の高度で耐久性のある炭化ケイ素コーティングを購入したい場合でも、メッセージを残すことができます。