炭化ケイ素コーティング

VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。

当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハキャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。

VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミックコーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。

当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色LED、緑色LED、UV LED、深紫外などのさまざまなLEDタイプのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 炭化ケイ素コーティングのパラメータ

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	代表値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
SiCコーティングの密度	3.21 g/cm3
SiCコーティング硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640J・kg^-1・K^-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m^-1・K^-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC膜の結晶構造

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

炭化ケイ素でコーティングされたエピサセプタ SiCコーティングウェーハキャリア MOCVD用SiCコートサテライトカバー CVD SiC コーティングウェーハエピサセプタ CVD SiCコーティング発熱体 Aixtron サテライトウェーハキャリア SiCコーティングエピレシーバー SiCコーティング半月型グラファイトパーツ

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ALD惑星受容器

ALDプロセスは、原子層エピタキシープロセスを意味します。 VETEK半導体およびALDシステムメーカーは、基板上に気流を均等に分布させるALDプロセスの高い要件を満たすSICコーティングALD惑星容疑者を開発および生産しました。同時に、当社の高純度CVD SICコーティングにより、その過程で純度が保証されます。私たちとの協力について話し合うためのようこそ。

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サポートをコーティングします

Vetek Semiconductorは、CVD SICコーティングとCVD TACコーティングの研究開発と工業化に焦点を当てています。 SICコーティング容疑者を例にとると、この製品は高精度、密なCVD SICコーティング、高温抵抗、強い耐食性で高度に処理されています。私たちへのあなたの問い合わせは大歓迎です。

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SIC結晶成長のためのCVD SICブロック

SIC結晶成長のためのCVD SICブロックは、Vetek半導体によって開発された新しい高純度原料です。入出力比が高く、高品質の大規模なシリコン炭化物単結晶を栽培できます。これは、今日の市場で使用されている粉末を交換するための第2世代の材料です。技術的な問題について議論するためのようこそ。

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SICクリスタル成長新技術

化学蒸気堆積（CVD）によって形成されるVetek半導体の超高純度炭化シリコン（sic）は、物理的蒸気輸送（PVT）によって炭化シリコン炭化物結晶の成長のためのソース材料として使用することをお勧めします。 SIC Crystal Growth New Technologyでは、ソース材料がるつぼに積み込まれ、種子結晶に昇華します。高純度CVD-SICブロックを使用して、SIC結晶の成長源として使用します。私たちとのパートナーシップを確立するためのようこそ。

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