炭化ケイ素コーティング

使用されるVetek半導体のCVD SICコーティングプロテクターはLPE SICエピタキシーであり、「LPE」という用語は通常、低圧化学蒸気堆積（LPCVD）の低圧エピタキシー（LPE）を指します。半導体製造では、LPEは、シリコンエピタキシャル層または他の半導体エピタキシャル層を栽培するためによく使用される単結晶薄膜を栽培するための重要なプロセス技術です。

Vetek Semiconductor は、グラファイトおよび炭化ケイ素材料上の CVD SiC コーティング、TaC コーティングの製造の専門家です。当社はSiCコーティングペデスタル、ウェーハキャリア、ウェーハチャック、ウェーハキャリアトレイ、遊星ディスクなどのOEMおよびODM製品を提供しています。1000グレードのクリーンルームと精製装置を備えており、不純物5ppm以下の製品を提供できます。ご連絡をお待ちしています。すぐにあなたから。

Vetek Semiconductor は、クライアントと緊密に連携して、特定のニーズに合わせた SiC コーティング インレット リングのオーダーメイド設計を作成することに優れています。これらの SiC コーティング インレット リングは、CVD SiC 装置や炭化ケイ素エピタキシーなどのさまざまな用途向けに細心の注意を払って設計されています。カスタマイズされた SiC コーティング インレット リング ソリューションについては、個別のサポートが必要なため、Vetek Semiconductor にお気軽にお問い合わせください。

VeTek Semiconductor は中国の専門メーカーおよびサプライヤーであり、主に SiC コーティングされたサポート リング、CVD 炭化ケイ素 (SiC) コーティング、炭化タンタル (TaC) コーティングを生産しています。当社は、半導体業界に完璧な技術サポートと究極の製品ソリューションを提供することに尽力しています。お気軽にお問い合わせください。

ウェーハ チャンクは、半導体プロセスにおけるウェーハ クランプ ツールであり、PVD、CVD、ETCH およびその他のプロセスで広く使用されています。Vetek Semiconductor のウェーハ チャックは、半導体製造において極めて重要な役割を果たし、高速で高品質な出力を可能にします。 Vetek Semiconductor は、社内製造、競争力のある価格設定、強力な研究開発サポートにより、精密部品の OEM/ODM サービスに優れています。お問い合わせをお待ちしております。

ALDプロセスは、原子層エピタキシープロセスを意味します。 VETEK半導体およびALDシステムメーカーは、基板上に気流を均等に分布させるALDプロセスの高い要件を満たすSICコーティングALD惑星容疑者を開発および生産しました。同時に、当社の高純度CVD SICコーティングにより、その過程で純度が保証されます。私たちとの協力について話し合うためのようこそ。