炭化ケイ素コーティング

SiC コーティング ウェーハ キャリアの専門メーカーおよびサプライヤーとして、Vetek Semiconductor の SiC コーティング ウェーハ キャリアは主にエピタキシャル層の成長均一性を向上させるために使用され、高温および腐食環境における安定性と完全性を確保します。

VeTek Semiconductor is a China professional ALD Susceptor manufacturer. Vetek jointly developed and produced SiC-coated ALD planetary bases with ALD system manufacturers to meet the high requirements of the ALD process. Welcome your consultation.

VeTek Semiconductor's CVD SiC coated ceiling has excellent properties such as high temperature resistance, corrosion resistance, high hardness, and low thermal expansion coefficient, making it an ideal material choice in semiconductor manufacturing. As a China leading CVD SiC coated ceiling manufacturer and supplier, VeTek semiconductor looks forward to your consultation.

VeTek Semiconductor is a professional manufacturer of MOCVD LED Epi Susceptor in China. our MOCVD LED Epi Susceptor is designed for demanding epitaxial equipment applications. Its high thermal conductivity, chemical stability and durability are key factors to ensure a stable epitaxial growth process and semiconductor film production.

SICコーティングALD受容器は、原子層堆積（ALD）プロセスで特異的に使用されるサポートコンポーネントです。 ALD機器で重要な役割を果たし、堆積プロセスの均一性と精度を確保します。当社のALD惑星受容器製品は、高品質の製品ソリューションを提供できると考えています。

VeTek Semiconductor の CVD SiC コーティングされた RTP サセプタは、半導体製造全体で使用される急速熱処理 (RTP) および急速熱アニーリング (RTA) 装置として機能します。基板は高純度等方性グラファイトから機械加工され、その上に高密度の CVD 炭化ケイ素 (SiC) 層が堆積されます。この構造により、高い熱伝導率、堅牢な化学的不活性性、および繰り返しの高温サイクル下でも寸法安定性が持続します。