炭化ケイ素コーティング

VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。

当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハキャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。

VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミックコーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。

当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色LED、緑色LED、UV LED、深紫外などのさまざまなLEDタイプのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 炭化ケイ素コーティングのパラメータ

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	代表値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
SiCコーティングの密度	3.21 g/cm3
SiCコーティング硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640J・kg^-1・K^-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m^-1・K^-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC膜の結晶構造

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

炭化ケイ素でコーティングされたエピサセプタ SiCコーティングウェーハキャリア MOCVD用SiCコートサテライトカバー CVD SiC コーティングウェーハエピサセプタ CVD SiCコーティング発熱体 Aixtron サテライトウェーハキャリア SiCコーティングエピレシーバー SiCコーティング半月型グラファイトパーツ

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SICコーティングセットディスク

Vetek Semiconductorは、中国のCVD SICコーティングのトップメーカーであり、Aixtron MOCVD原子炉でSICコーティングセットディスクを提供しています。これらのSICコーティングセットディスクは、高純度グラファイトを使用して作成されており、5ppm未満の不純物を備えたCVD SICコーティングを備えています。あなたの問い合わせは歓迎されます。

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SICコーティングコレクターセンター

Vetek Semiconductorは、中国でのCVD SICコーティングに評判の良いメーカーであり、Aixtron G5 MOCVDシステムの最先端のSICコーティングコレクターセンターを提供します。これらのSICコーティングコレクターセンターは、高純度グラファイトで細心の注意を払って設計されており、高度なCVD SICコーティングを誇っており、高温の安定性、耐食性、高純度を確保します。

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SICコーティングコレクタートップ

CVD SICコーティングの信頼できるメーカーであるVetek Semiconductorへようこそ。高純度グラファイトを使用して巧みに設計されており、5ppm未満の不純物を伴う最先端のCVD sicコーティングを備えたAixtron sicコーティングコレクタートップを提供することに誇りを持っています。質問やお問い合わせがあればお気軽にお問い合わせください

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SICコーティングコレクターの底

CVD SICコーティング製造の専門知識により、Vetek Semiconductorは誇らしげにAixtron SICコーティングコレクターの底、中央、上部を示しています。これらのSICコーティングコレクターの底は、高純度グラファイトを使用して構築されており、CVD SICでコーティングされており、5ppm未満の不純物を確保しています。詳細情報と問い合わせについては、お気軽にお問い合わせください。

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SICコーティングカバーセグメント内

Vetek Semiconductorでは、CVD SICコーティングとCVD TACコーティングの研究、開発、工業化を専門としています。模範的な製品の1つは、内側のSICコーティングカバーセグメントであり、非常に正確で密にコーティングされたCVD SIC表面を実現するために広範な処理を受けます。このコーティングは、高温に対する例外的な耐性を示し、堅牢な腐食保護を提供します。お問い合わせについてはお気軽にお問い合わせください。

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SICコーティングカバーセグメント

VTech Semiconductorは、AIXTRON反応器用のCVD SICコーティング部品の開発と商業化に取り組んでいます。例として、当社のSICコーティングカバーセグメントは、優れた腐食抵抗、化学的安定性、アプリケーションシナリオについて議論することを歓迎する密なCVD SICコーティングを生成するために慎重に処理されています。

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中国の専門家炭化ケイ素コーティングメーカーおよびサプライヤーとして、私たちは独自の工場を持っています。あなたの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要であるか、中国製の高度で耐久性のある炭化ケイ素コーティングを購入したい場合でも、メッセージを残すことができます。