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CVD SiCコーティングスカート
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CVD SiCコーティングスカート

VeTek Semiconductor は、中国における CVD SiC コーティング スカートの大手メーカーおよびリーダーです。当社の主なCVD SiCコーティング製品には、CVD SiCコーティングスカート、CVD SiCコーティングリングが含まれます。ご連絡をお待ちしております。

Vetek Semiconductor は中国の CVD SiC コーティングスカートの専門メーカーです。

Aixtron 機器の深紫外エピタキシー技術は、半導体製造において重要な役割を果たしています。この技術は、深紫外光源を使用して、エピタキシャル成長によってウェーハの表面にさまざまな材料を堆積し、ウェーハの性能と機能を正確に制御することを実現します。深紫外エピタキシー技術は、LEDから半導体レーザーに至るまで、さまざまな電子デバイスの製造に幅広く応用されています。

このプロセスでは、CVD SICコーティングされたスカートが重要な役割を果たします。エピタキシャルシートをサポートし、エピタキシャルシートを駆動して回転し、エピタキシャルの成長中に均一性と安定性を確保するように設計されています。グラファイト容疑者の回転速度と方向を正確に制御することにより、エピタキシャルキャリアの成長プロセスを正確に制御できます。

この製品は高品質のグラファイトと炭化ケイ素コーティングで作られており、優れた性能と長寿命を保証します。輸入されたグラファイト材料は製品の安定性と信頼性を保証し、さまざまな作業環境で優れたパフォーマンスを発揮します。コーティングに関しては、コーティングの均一性と安定性を確保するために、5ppm未満の炭化ケイ素材料が使用されています。同時に、新しいプロセスと黒鉛材料の熱膨張係数が良好に一致し、製品の高温耐性と熱衝撃耐性が向上し、高温環境でも安定した性能を維持できます。


CVD SiC コーティングスカートの基本物性:

CVD SiCコーティングの基本物性
財産 代表値
結晶構造 FCCβ相多結晶、主に(111)配向
密度 3.21 g/cm3
硬度 2500ビッカーズの硬度(500g負荷)
粒度 2~10μm
化学純度 99.99995%
熱容量 640J・kg-1・K-1
昇華温度 2700℃
曲げ強度 415 MPA RT 4ポイント
ヤングモジュラス 430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率 300W・m-1・K-1
熱膨張(CTE) 4.5×10-6K-1


VeTek Semiconductor CVD SiC コーティング スカート製品ショップ:

VeTek Semiconductor CVD SiC Coated Skirt products shops


半導体チップエピタキシー産業チェーンの概要:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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