炭化ケイ素コーティング

VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。

当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハキャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。

VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミックコーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。

当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色LED、緑色LED、UV LED、深紫外などのさまざまなLEDタイプのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 炭化ケイ素コーティングのパラメータ

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	代表値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
SiCコーティングの密度	3.21 g/cm3
SiCコーティング硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640J・kg^-1・K^-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m^-1・K^-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC膜の結晶構造

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

炭化ケイ素でコーティングされたエピサセプタ SiCコーティングウェーハキャリア MOCVD用SiCコートサテライトカバー CVD SiC コーティングウェーハエピサセプタ CVD SiCコーティング発熱体 Aixtron サテライトウェーハキャリア SiCコーティングエピレシーバー SiCコーティング半月型グラファイトパーツ

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4 "ウェーハのMOCVDエピタキシャル受容器

4 "ウェーハのMOCVDエピタキシャル受容器は、4"エピタキシャル層を栽培するように設計されています。Veteksemiconductorは、4 "ウェーハの高品質のMOCVDエピタキシャルセプターを提供することに専念しているプロのメーカーおよびサプライヤーです。私たちはお客様に専門家で効率的なソリューションを提供することができます。あなたは私たちとコミュニケーションをとることを歓迎します。

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G5のエピタキシャルグラファイトサポート

VeTek Semiconductor は、G5 用の高品質 GaN エピタキシャルグラファイトサセプタの提供に特化した専門メーカーおよびサプライヤーです。当社は国内外の数多くの有名企業と長期的かつ安定したパートナーシップを確立しており、お客様の信頼と尊敬を獲得しています。

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半導体容疑者ブロックSICコーティング

Vetek半導体の半導体容疑者ブロックSICコーティングは、非常に信頼性が高く耐久性のあるデバイスです。安定した性能と長寿命を維持しながら、高温や過酷な化学環境に耐えるように設計されています。その優れたプロセス機能により、半導体感受性ブロックSICコーティングは、交換とメンテナンスの頻度を減らし、生産効率を改善します。私たちは、いつでも相談するためにあなたと協力する機会を楽しみにしています。

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ウルトラピュアグラファイト下半年ムーン

Vetek Semiconductorは、中国のカスタマイズされたUltra Pure Graphite Lower Halfmoonの大手サプライヤーであり、長年にわたって高度な材料を専門としています。当社のウルトラピュアグラファイト下ハーフムーンは、SICエピタキシャル機器用に特別に設計されており、優れた性能を確保しています。ウルトラピュアインポートグラファイトから作られ、信頼性と耐久性を提供します。中国の工場にアクセスして、高品質のウルトラピュアグラファイト下半日中ムーンを直接探索してください。いつでも相談してください。

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上半分日中部がコーティングされています

Vetek Semiconductorは、中国でコーティングされたカスタマイズされたアッパーハーフムーンパートSICの大手サプライヤーであり、20年以上にわたって高度な材料を専門としています。 vetek半導体上半分moonパートSICコーティングは、反応チャンバー内の重要な成分として機能するSICエピタキシャル装置用に特別に設計されています。超純粋な半導体グレードグラファイトから作られ、優れた性能を確保します。中国の工場を訪問することをお勧めします。いつでも相談してください。

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炭化シリコンエピタキシーウェーハキャリア

VETEK半導体は、中国の主要なカスタマイズされたカスタマイズされた炭化シリコンエピタキシーウェーハキャリアサプライヤーです。20年以上先進材料に特化しています。SIC基板を運ぶためのシリコン炭化物エピタキシーウェーハキャリアを提供し、SICエピタキシャル反応器でSICエピタキシー層を栽培しています。このシリコン炭化物エピタキシーウェーハキャリアは、ハーフムーン部の重要なSICコーティングされた部分、高温抵抗、酸化抵抗、耐摩耗性です。中国の工場を訪問することを歓迎します。いつでも相談してください。

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中国の専門家炭化ケイ素コーティングメーカーおよびサプライヤーとして、私たちは独自の工場を持っています。あなたの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要であるか、中国製の高度で耐久性のある炭化ケイ素コーティングを購入したい場合でも、メッセージを残すことができます。