炭化ケイ素コーティング

中国のトップ工場であるVetek Semiconductorは、精密機械加工と半導体SiCおよびTaCコーティング能力を兼ね備えています。バレル型Siエピサセプタは温度・雰囲気制御機能を備え、半導体エピタキシャル成長プロセスの生産効率を向上させます。貴社との協力関係を確立することを楽しみにしています。

炭化ケイ素および炭化タンタルコーティングの国内トップメーカーとして、VeTek Semiconductor は、SiC コーティングされたエピサセプターの精密機械加工と均一なコーティングを提供し、コーティングと製品の純度を 5ppm 以下に効果的に制御することができます。製品寿命はSGLと同等です。お問い合わせお待ちしております。

フラット受容器とバレル受容器はEPI容疑者の主な形状です。Vetek半導体は、中国の主要なLPE SI EPI SIPI SICTEPTOR SETメーカーおよびイノベーターです。長年にわたってSICコーティングとTACコーティングに特化しています。 LPE PE2061S 4 "ウェーハ用に特別に設計されたセット。グラファイト材料とSICコーティングのマッチング度は良好で、均一性は優れており、寿命は長く、LPE中のエピタキシャル層の成長を改善できます（液相エピタキシー）プロセス。中国の工場を訪問することを歓迎します。

AIXTRON G5 MOCVDシステムは、グラファイト材料、炭化シリコンコーティンググラファイト、クォーツ、硬質フェルト材料などで構成されています。VetekSemiconductorは、このシステムのコンポーネントのセット全体をカスタマイズおよび製造できます。私たちは長年にわたって半導体グラファイトとクォーツ部品に特化しています。このAIXTRON G5 MOCVD SCEMPCEPTORSキットは、最適なサイズ、互換性、および高い生産性を備えた半導体製造に汎用性が高く効率的なソリューションです。お問い合わせください。

バレルタイプのエピタキシャルウェーハ加熱ベースは、複雑な加工技術を備えた製品であり、機器と能力を加工するのに非常に困難です。 Vetek Semiconductorは、EPIのSICコーティングされたグラファイトバレル受容器の処理における高度な機器と豊富な経験を持っています。元の工場寿命と同じ、より費用対効果の高いエピタキシャルバレルを提供できます。

SiC コーティングされたグラファイトるつぼデフレクターは、単結晶炉装置の重要なコンポーネントです。その役割は、溶融材料をるつぼから結晶成長ゾーンにスムーズに導き、単結晶成長の品質と形状を保証することです。Vetek 半導体は、グラファイトとSiCの両方のコーティング材料を提供します。詳細については、お気軽にお問い合わせください。