炭化ケイ素コーティング

VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。

当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハキャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。

VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミックコーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。

当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色LED、緑色LED、UV LED、深紫外などのさまざまなLEDタイプのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 炭化ケイ素コーティングのパラメータ

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	代表値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
SiCコーティングの密度	3.21 g/cm3
SiCコーティング硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640J・kg^-1・K^-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m^-1・K^-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC膜の結晶構造

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

炭化ケイ素でコーティングされたエピサセプタ SiCコーティングウェーハキャリア MOCVD用SiCコートサテライトカバー CVD SiC コーティングウェーハエピサセプタ CVD SiCコーティング発熱体 Aixtron サテライトウェーハキャリア SiCコーティングエピレシーバー SiCコーティング半月型グラファイトパーツ

View as

炭化シリコンエピタキシーウェーハキャリア

VETEK半導体は、中国の主要なカスタマイズされたカスタマイズされた炭化シリコンエピタキシーウェーハキャリアサプライヤーです。20年以上先進材料に特化しています。SIC基板を運ぶためのシリコン炭化物エピタキシーウェーハキャリアを提供し、SICエピタキシャル反応器でSICエピタキシー層を栽培しています。このシリコン炭化物エピタキシーウェーハキャリアは、ハーフムーン部の重要なSICコーティングされた部分、高温抵抗、酸化抵抗、耐摩耗性です。中国の工場を訪問することを歓迎します。いつでも相談してください。

もっと見る >> お問い合わせを送信 >>

SICコーティングMOCVD受容器

VeteksemiconのSICコーティングMOCVD受容器は、優れたプロセス、耐久性、信頼性を備えたデバイスです。彼らは高温と化学環境に耐え、安定した性能と長寿命を維持することができ、それにより交換とメンテナンスの頻度を減らし、生産効率を改善します。当社のMOCVDエピタキシャル受容器は、高密度、優れた平坦性、優れた熱制御で有名であり、厳しい製造環境で優先される機器になります。あなたと協力することを楽しみにしています。いつでも相談したいと思います。

もっと見る >> お問い合わせを送信 >>

SICコーティングICPエッチングキャリア

Veteksemicon sicコーティングICPエッチングキャリアは、最も要求の厳しいエピタキシー機器用途向けに設計されています。高品質のウルトラピュアグラファイト材料で作られた当社のSICコーティングされたICPエッチングキャリアは、非常に平坦な表面と優れた腐食抵抗があり、ハンドリング中の過酷な条件に耐えることができます。 SICコーティングされたキャリアの高い熱伝導率は、優れたエッチング結果のために熱分布さえ保証します。

もっと見る >> お問い合わせを送信 >>

半導体用のPSSエッチングキャリアプレート

vetek半導体のPSSエッチングキャリアプレートの半導体用は、ウェーハ処理プロセス用に設計された高品質の超純粋なグラファイトキャリアです。当社の航空会社は優れた性能を持ち、過酷な環境、高温、過酷な化学洗浄条件でうまく機能します。当社の製品は、多くのヨーロッパおよびアメリカの市場で広く使用されており、中国で長期的なパートナーになることを楽しみにしています。工場を訪れ、テクノロジーと製品について詳しく学ぶために中国に来ることをお勧めします。

もっと見る >> お問い合わせを送信 >>

急速熱処理用サセプタ

VeTek Semiconductor は、中国の大手急速熱アニーリングサセプタのメーカーおよびサプライヤーであり、半導体業界向けの高性能ソリューションの提供に注力しています。当社はSiCコーティング材料分野において長年にわたる深い技術蓄積を有しております。当社の急速熱アニール用サセプタは、優れた耐高温性と優れた熱伝導性を備え、ウェーハエピタキシャル製造のニーズに応えます。当社の技術と製品について詳しく知るために、中国の当社工場を訪問することを歓迎します。

もっと見る >> お問い合わせを送信 >>

シリコンベースのGANエピタキシャル受容器

シリコンベースのGANエピタキシャル受容器は、GANエピタキシャル産生に必要なコア成分です。 VeteksemiconシリコンベースのGanエピタキシャル受容器は、シリコンベースのGanエピタキシャル反応器システム向けに特別に設計されており、高純度、優れた高温抵抗、耐食性などの利点があります。あなたのさらなる相談を歓迎します。

もっと見る >> お問い合わせを送信 >>

中国の専門家炭化ケイ素コーティングメーカーおよびサプライヤーとして、私たちは独自の工場を持っています。あなたの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要であるか、中国製の高度で耐久性のある炭化ケイ素コーティングを購入したい場合でも、メッセージを残すことができます。