炭化ケイ素コーティング

VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。

当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハキャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。

VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミックコーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。

当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色LED、緑色LED、UV LED、深紫外などのさまざまなLEDタイプのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 炭化ケイ素コーティングのパラメータ

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	代表値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
SiCコーティングの密度	3.21 g/cm3
SiCコーティング硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640J・kg^-1・K^-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m^-1・K^-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC膜の結晶構造

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

炭化ケイ素でコーティングされたエピサセプタ SiCコーティングウェーハキャリア MOCVD用SiCコートサテライトカバー CVD SiC コーティングウェーハエピサセプタ CVD SiCコーティング発熱体 Aixtron サテライトウェーハキャリア SiCコーティングエピレシーバー SiCコーティング半月型グラファイトパーツ

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半導体用のPSSエッチングキャリアプレート

vetek半導体のPSSエッチングキャリアプレートの半導体用は、ウェーハ処理プロセス用に設計された高品質の超純粋なグラファイトキャリアです。当社の航空会社は優れた性能を持ち、過酷な環境、高温、過酷な化学洗浄条件でうまく機能します。当社の製品は、多くのヨーロッパおよびアメリカの市場で広く使用されており、中国で長期的なパートナーになることを楽しみにしています。工場を訪れ、テクノロジーと製品について詳しく学ぶために中国に来ることをお勧めします。

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急速熱処理用サセプタ

VeTek Semiconductor は、中国の大手急速熱アニーリングサセプタのメーカーおよびサプライヤーであり、半導体業界向けの高性能ソリューションの提供に注力しています。当社はSiCコーティング材料分野において長年にわたる深い技術蓄積を有しております。当社の急速熱アニール用サセプタは、優れた耐高温性と優れた熱伝導性を備え、ウェーハエピタキシャル製造のニーズに応えます。当社の技術と製品について詳しく知るために、中国の当社工場を訪問することを歓迎します。

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シリコンベースのGANエピタキシャル受容器

シリコンベースのGANエピタキシャル受容器は、GANエピタキシャル産生に必要なコア成分です。 VeteksemiconシリコンベースのGanエピタキシャル受容器は、シリコンベースのGanエピタキシャル反応器システム向けに特別に設計されており、高純度、優れた高温抵抗、耐食性などの利点があります。あなたのさらなる相談を歓迎します。

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LPEリアクターの8インチの半moon部品

VeTek Semiconductor は中国の大手半導体装置メーカーであり、LPE リアクター用の 8 インチハーフムーン部品の研究開発と生産に重点を置いています。当社は、特にSiCコーティング材料において長年にわたり豊富な経験を蓄積しており、LPEエピタキシャルリアクターに合わせた効率的なソリューションを提供することに尽力しています。当社の LPE リアクター用 8 インチハーフムーン部品は、優れた性能と互換性を備えており、エピタキシャル製造に不可欠なキーコンポーネントです。当社の製品について詳しく知りたい方は、お問い合わせをお待ちしております。

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LPE PE3061S 6 ''ウェーハのSICコーティングパンケーキ受容器

LPE PE3061S 6 ''ウェーハのSICコーティングパンケーキ受容器は、6 ''ウェーハエピタキシャルウェーハ処理で使用されるコアコンポーネントの1つです。 Vetek Semiconductorは現在、中国のLPE PE3061S 6 ''ウェーハのSICコーティングパンケーキ受容器の大手メーカーおよびサプライヤーです。それが提供するSICコーティングされたパンケーキ受容器は、高い耐食性、良好な熱伝導率、良好な均一性などの優れた特性を持っています。お問い合わせを楽しみにしています。

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LPE PE2061SのSICコーティングサポート

Vetek Semiconductorは、中国のSICコーティンググラファイト成分の大手メーカーおよびサプライヤーです。 LPE PE2061SのSICコーティングサポートは、LPEシリコンエピタキシャル反応器に適しています。バレルベースの底であるため、LPE PE2061のSICコーティングサポートは、摂氏1600度の高温に耐えることができ、それによって超長い製品寿命を達成し、顧客コストを削減できます。お問い合わせとさらなるコミュニケーションを楽しみにしています。

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中国の専門家炭化ケイ素コーティングメーカーおよびサプライヤーとして、私たちは独自の工場を持っています。あなたの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要であるか、中国製の高度で耐久性のある炭化ケイ素コーティングを購入したい場合でも、メッセージを残すことができます。