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CVD SICシャワーヘッド
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CVD SICシャワーヘッド

Vetek Semiconductorは、中国の大手CVD SICシャワーヘッドメーカーおよびイノベーターです。長年にわたってSIC材料に特化しています。中国であなたの長期パートナーになることを楽しみにしています。

私たちの工場からCVD SICシャワーヘッドを購入することは安心できます。 Vetek半導体CVD SICシャワーヘッドはから作られています固体炭化シリコン(原文)高度な化学蒸気堆積(CVD)技術の使用。 SICは、卓越した熱伝導率、耐薬品性、および機械的強度のために選択されており、CVD SICシャワーヘッドのような大量のSICコンポーネントに最適です。

CVD SiC Shower Head

製品のパフォーマンスと利点:

半導体製造用に設計されたCVD SICシャワーヘッドは、高温とプラズマ処理に耐えます。その正確なガスフロー制御と優れた材料特性により、安定したプロセスと長期的な信頼性が保証されます。 CVD SICを使用すると、熱管理と化学的安定性が向上し、半導体製品の品質とパフォーマンスが向上します。


顧客のニーズへの対応:

CVD SICシャワーヘッドが強化されますエピタキシャルの成長プロセスガスを均一に分布させ、汚染からチャンバーを保護することによる効率。温度制御、化学的安定性、プロセスの一貫性などの半導体製造の課題を効果的に解決し、顧客に信頼できるソリューションを提供します。


アプリケーションシナリオ:

MOCVDシステムで利用される、Siエピタキシー、 そしてsicエピタキシー、CVD SICシャワーヘッドは、高品質の半導体デバイスの生産をサポートしています。その重要な役割は、正確なプロセス制御と安定性を保証し、高性能で信頼できる製品のための多様な顧客要件を満たします。


CVD SICシャワーヘッドの製品パラメーター:

の物理的特性固体sic
密度 3.21 g/cm3
電気抵抗率 102 ω/cm
曲げ強度 590 MPA (6000kgf/cm2)
ヤングモジュラス 450 GPA (6000kgf/mm2)
ビッカーズの硬さ 26 GPA (2650kgf/mm2)
C.T.E.(RT-1000℃) 4.0 X10-6/k
熱伝導率(RT) 250 w/mk


それは半導体です CVD SICシャワーヘッド生産店

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