炭化ケイ素コーティング

VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。

当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハキャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。

VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミックコーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。

当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色LED、緑色LED、UV LED、深紫外などのさまざまなLEDタイプのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 炭化ケイ素コーティングのパラメータ

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	代表値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
SiCコーティングの密度	3.21 g/cm3
SiCコーティング硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640J・kg^-1・K^-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m^-1・K^-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC膜の結晶構造

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

炭化ケイ素でコーティングされたエピサセプタ SiCコーティングウェーハキャリア MOCVD用SiCコートサテライトカバー CVD SiC コーティングウェーハエピサセプタ CVD SiCコーティング発熱体 Aixtron サテライトウェーハキャリア SiCコーティングエピレシーバー SiCコーティング半月型グラファイトパーツ

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sicコーティングされたe-chuck

Vetek Semiconductorは、中国のSICコーティングE-Chucksの大手メーカーおよびサプライヤーです。 SICコーティングされたE-Chuckは、半導体製造に全面的なサポートを提供するために、優れたパフォーマンスと長いサービスライフを備えたGan Wafer Etchingプロセス用に特別に設計されています。私たちの強力な処理能力により、私たちはあなたが望むSICセラミック受容器をあなたに提供することを可能にします。お問い合わせを楽しみにしています。

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SIC ICPエッチングプレート

Veteksemiconは、半導体業界でICPエッチング用途向けに設計された高性能SIC ICPエッチングプレートを提供します。そのユニークな材料特性により、高温、高圧、化学腐食環境でうまく機能し、さまざまなエッチングプロセスで優れた性能と長期的な安定性を確保できます。 Veteksemiconはあなたの長期的なパートナーになることを楽しみにしています。

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グラファイト加熱ユニット

Vetek半導体グラファイト加熱ユニットは、高性能グラファイト材料で作られた高性能産業加熱溶液であり、正確で効率的な加熱効果を提供できます。グラファイト加熱ユニットは、半導体、電子機器、セラミック、その他のフィールドで広く使用されています。あなたのさらなるお問い合わせを歓迎します。

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SICコーティングディープUV LED受容器

SICコーティングディープUV LED受容器は、MOCVDプロセス向けに設計されており、効率的で安定した深部UV LEDエピタキシャル層の成長をサポートしています。 Vetek Semiconductorは、中国のSICコーティングディープUV LED受容器の大手メーカーおよびサプライヤーです。私たちは豊富な経験を持ち、多くのLEDエピタキシャルメーカーとの長期的な協力関係を確立しています。私たちは、LEDのセスプター製品の国内トップメーカーです。長年の検証の後、当社の製品寿命は、国際的なトップメーカーと同等です。お問い合わせを楽しみにしています。

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導かれたエピタキシープロビデンス

Vetek半導体のLEDエピタキシー受容器は、青と緑のLEDエピタキシャル製造用に設計されています。炭化シリコンコーティングとSGLグラファイトを組み合わせており、硬度、粗さが低く、熱安定性が良好で、化学物質の安定性が優れています。 LEDエピタキシー受容器は、Vetek半導体の最も優れた製品の1つです。お問い合わせをお待ちしております。

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高純度CVD sic原材料

CVDが調製した高純度CVD SIC原料は、物理的な蒸気輸送による炭化シリコンの結晶成長に最適な材料です。 VETEK半導体によって供給される高純度CVD SIC原材料の密度は、SiおよびC含有ガスの自然燃焼によって形成される小さな粒子の密度よりも高く、専用の焼結炉を必要とせず、ほぼ一定の蒸発速度を持っています。非常に高品質のSIC単結晶を育てることができます。お問い合わせを楽しみにしています。

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中国の専門家炭化ケイ素コーティングメーカーおよびサプライヤーとして、私たちは独自の工場を持っています。あなたの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要であるか、中国製の高度で耐久性のある炭化ケイ素コーティングを購入したい場合でも、メッセージを残すことができます。