炭化ケイ素コーティング

Veteksemicon LED エッチング用炭化ケイ素キャリア プレートは、LED チップ製造用に特別に設計されており、エッチング プロセスにおける中心的な消耗品です。精密焼結された高純度炭化ケイ素から作られており、優れた耐薬品性と高温での寸法安定性を備え、強酸、塩基、プラズマによる腐食に効果的に耐えます。その低汚染特性により、LED エピタキシャル ウェーハの高歩留まりが確保され、また、従来の材料をはるかに上回る耐久性により、顧客の全体的な運用コストの削減に役立ち、エッチング プロセスの効率と一貫性を向上させるための信頼できる選択肢となっています。

Veteksemi ソリッド SiC フォーカス リングは、ウェーハエッジでの電場と空気の流れを正確に制御することにより、エッチングの均一性とプロセスの安定性を大幅に向上させます。シリコン、誘電体、化合物半導体材料の精密エッチングプロセスで広く使用されており、大量生産の歩留まりと長期にわたる信頼性の高い装置動作を確保するための重要なコンポーネントです。

VeteksemiconのCVD SICコーティンググラファイトシャワーヘッドは、半導体化学蒸気堆積（CVD）プロセス専用に設計された高性能コンポーネントです。高純度のグラファイトから製造され、化学蒸気堆積（CVD）炭化シリコン（SIC）コーティングで保護されているこのシャワーヘッドは、優れた耐久性、熱安定性、腐食プロセスガスに対する耐性を提供します。あなたのさらなる相談を楽しみにしています。

Veteksemiconによるシリコン炭化物コーティングウェーハホルダーは、MOCVD、LPCVD、高温アニーリングなどの高度な半導体プロセスの精度と性能のために設計されています。均一なCVD SICコーティングを備えたこのウェーハホルダーは、並外れた熱伝導率、化学的不活性、および機械的強度を保証します。

ベテクシミコン高純度SICエッジリングは、半導体エッチング機器用に特別に設計されており、優れた腐食抵抗と熱安定性を備えており、ウェーハ収量が大幅に向上します

シリコンカーバイドコーティング製品の大手メーカーおよびサプライヤーとして、ベテクシミコンのSICコーティングウェーハキャリアは、優れた高温の安定性、優れた耐食性、高熱伝導率を備えたエッチングプロセスにおいて、かけがえのないコアの役割を果たします。