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固体炭化シリコン

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SICクリスタル成長新技術

SICクリスタル成長新技術

化学蒸気堆積(CVD)によって形成されるVetek半導体の超高純度炭化シリコン(sic)は、物理的蒸気輸送(PVT)によって炭化シリコン炭化物結晶の成長のためのソース材料として使用することをお勧めします。 SIC Crystal Growth New Technologyでは、ソース材料がるつぼに積み込まれ、種子結晶に昇華します。高純度CVD-SICブロックを使用して、SIC結晶の成長源として使用します。私たちとのパートナーシップを確立するためのようこそ。
CVD SICシャワーヘッド

CVD SICシャワーヘッド

Vetek Semiconductorは、中国の大手CVD SICシャワーヘッドメーカーおよびイノベーターです。長年にわたってSIC材料に特化しています。中国であなたの長期パートナーになることを楽しみにしています。
SICシャワーヘッド

SICシャワーヘッド

Vetek Semiconductorは、中国の主要なSICシャワーヘッドメーカーおよびイノベーターです。長年にわたってSIC材料に特化しています。SICシャワーヘッドは、優れた熱化学的安定性、高機械強度、プラズマ侵食に対する耐性のためにフォーカスリング素材として選択されています。
ソリッドSiCガスシャワーヘッド

ソリッドSiCガスシャワーヘッド

ソリッドSICガスシャワーヘッドは、CVDプロセスでガスの均一なものを作る上で大きな役割を果たし、それにより基質の均一な加熱を保証します。 Vetek Semiconductorは、長年にわたってソリッドSICデバイスの分野に深く関与しており、カスタマイズされたソリッドSICガスシャワーヘッドを顧客に提供することができます。あなたの要件が何であれ、私たちはあなたの問い合わせを楽しみにしています。
化学蒸気沈着プロセス固体sic端リング

化学蒸気沈着プロセス固体sic端リング

Vetek Semiconductorは、常に高度な半導体材料の研究開発と製造に取り組んできました。今日、Vetek半導体は、化学蒸気堆積プロセスソリッドSICエッジリング製品を大きく進歩させており、高度にカスタマイズされたソリッドSICエッジリングを顧客に提供することができます。ソリッドSICエッジリングは、静電チャックで使用すると、より良いエッチングの均一性と正確なウェーハの位置決めを提供し、一貫した信頼性の高いエッチング結果を確保します。あなたの問い合わせとお互いの長期的なパートナーになることを楽しみにしています。
ソリッドSICエッチングフォーカシングリング

ソリッドSICエッチングフォーカシングリング

固体SiCエッチング集束リングは、ウェーハエッチングプロセスの中核コンポーネントの1つであり、ウェーハを固定し、プラズマを集束させ、ウェーハエッチングの均一性を向上させる役割を果たします。中国の大手SiC集束リングメーカーとして、VeTek Semiconductorは高度な技術と成熟したプロセスを備えており、顧客の要件に応じて最終顧客のニーズを完全に満たす固体SiCエッチング集束リングを製造しています。私たちはあなたの問い合わせを楽しみにし、お互いの長期的なパートナーになることを楽しみにしています。

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


中国の専門家固体炭化シリコンメーカーおよびサプライヤーとして、私たちは独自の工場を持っています。あなたの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要であるか、中国製の高度で耐久性のある固体炭化シリコンを購入したい場合でも、メッセージを残すことができます。
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