炭化ケイ素 (SiC) カンチレバー パドル

炭化ケイ素 (SiC) カンチレバー パドルは、ウェーハ処理プロセスに不可欠な主要コンポーネントです。これは主にウェーハ搬送システムの一部です。高温酸化拡散炉などの装置内でウェーハを搬送・搬送し、ウェーハと炉心管の同心度を確保し、ウェーハ処理の一貫性と歩留まりを向上させる重要な役割を担っています。

SICカンチレバーパドルは優れた高温性能を持っています。最大1600℃までの高温環境では、SICカンチレバーパドルは依然として高強度と安定性を維持でき、変形、損傷、その他の問題はなく、長い間安定して動作する可能性があります。

炭化シリコンカンチレバーパドルは、高純度のSIC材料で​​できており、ウェーハの処理中に粒子が落ちることはなく、ウェーハ表面の汚染を回避します。炭化物のシリコン材料は曲げ強度が高く、より多くのウェーハを運ぶときに大きなストレスに耐えることができ、破損する傾向がなく、ウェーハ透過プロセスの安全性と安定性を確保します。 SICの優れた化学物質の安定性は、SICカンチレバーパドルがさまざまな化学物質やガスからの腐食に抵抗し、材料腐食のために不純物がウェーハを汚染するのを防ぎ、製品のサービス寿命を延ばします。

SiCカンチレバーパドルの動作図

製品仕様

● さまざまなサイズ: 当社は、さまざまな種類の半導体装置やさまざまなサイズのウェーハ処理のニーズを満たすために、さまざまなサイズの炭化ケイ素 (SiC) カンチレバー パドルを提供しています。

●  カスタマイズされたサービス：標準仕様の製品に加えて、特定のサイズ、形状、耐荷重などの特別な要件に応じて、お客様専用のソリューションを作成することもできます。

●  一体成型設計：通常、接続部、移行部、軸受部を含めた一体成形プロセスで製造されます。部品はしっかりと接続されており、強い完全性を備えているため、製品の構造強度と安定性が効果的に向上し、弱い接続部品によって引き起こされる故障のリスクが軽減されます。

●  強化構造：一部の製品には、底板、圧力プレート、コネクティングロッドなど、遷移セクションなどの主要部分に補強構造が装備されており、遷移セクションと接続セクションとベアリングセクションの間の接続強度をさらに強化します。 、ウェーハを運ぶときに高純度SICカンチレバーパドルの信頼性を改善し、遷移領域での骨折などの問題を防ぎます。

●  特別な軸受領域の設計: ウェーハの配置と熱伝達を十分に考慮したベアリングエリアの設計。一部の製品には、軸受部にU字溝、長いストリップ穴、角穴などの構造が設けられており、これにより軸受部自体の重量が軽減されるだけでなく、熱の遮断を避けるためにウェハとの接触面積が減少します。同時に、搬送中のウェーハの安定性を確保し、ウェーハの落下を防ぐこともできます。

再結晶炭化ケイ素の物性：

生産プロセス中、各炭化ケイ素 (SiC) カンチレバー パドルは、製品が高品質基準を満たし、製品が高い品質基準を満たしていることを確認するために、寸法精度検査、外観検査、物理的特性検査、化学的安定性検査などを含む厳格な品質検査を受ける必要があります。半導体ウェーハ処理の厳しい要件。

それは半導体ですは、あらゆる種類のアフターサービスを提供します。お客様が使用中に問題が発生した場合は、専門のアフターセールスチームがタイムリーに対応し、お客様の生産に影響がないことを保証するために迅速かつ効果的なソリューションをお客様に提供します。

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