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Veteksemicon の炭化ケイ素カンチレバー パドルは、半導体製造における高度なウェーハ処理向けに設計されています。高純度の SiC で作られており、優れた熱安定性、優れた機械的強度、高温および腐食環境に対する優れた耐性を実現します。これらの機能により、MOCVD、エピタキシー、拡散などのプロセスにおける正確なウェーハハンドリング、延長された耐用年数、信頼性の高いパフォーマンスが保証されます。ご相談歓迎です。

Veteksemicon ウェーハ用 SiC セラミック真空チャックは、半導体ウェーハ処理において卓越した精度と信頼性を実現するように設計されています。高純度の炭化ケイ素から製造されているため、優れた熱伝導性、耐薬品性、優れた機械的強度が保証され、エッチング、蒸着、リソグラフィーなどの要求の厳しいアプリケーションに最適です。その超平坦な表面により安定したウェーハサポートが保証され、欠陥が最小限に抑えられ、プロセスの歩留まりが向上します。 この真空チャックは、高性能ウェーハハンドリングのための信頼できる選択肢です。

Veteksemi ソリッド SiC フォーカス リングは、ウェーハエッジでの電場と空気の流れを正確に制御することにより、エッチングの均一性とプロセスの安定性を大幅に向上させます。シリコン、誘電体、化合物半導体材料の精密エッチングプロセスで広く使用されており、大量生産の歩留まりと長期にわたる信頼性の高い装置動作を確保するための重要なコンポーネントです。

ウェーハの洗浄、エッチング、ウェット エッチングの重要なステップでは、高純度石英バスは単なる容器ではありません。それはプロセスを成功させるための最初の防御線です。金属イオン汚染、熱衝撃亀裂、化学的攻撃、および粒子残留物が、収量変動の隠れた原因となります。 Veteksemi は半導体グレードのクォーツに深く根ざしています。当社が製造するすべての石英バスは、最先端のプロセスに妥協のない信頼性と清浄性を提供するように設計されています。

当社の炭化シリコン（SIC）ロボットアームは、高度な半導体製造における高性能ウェーハの取り扱い用に設計されています。高純度の炭化シリコンで作られたこのロボットアームは、高温、プラズマ腐食、化学攻撃に対する並外れた耐性を提供し、厳しいクリーンルーム環境で信頼できる操作を確保します。その並外れた機械的強度と寸法安定性により、汚染リスクを最小限に抑えながら正確なウェーハの取り扱いが可能になり、MOCVD、エピタキシー、イオン移植、およびその他の重要なウェーハ処理アプリケーションに理想的な選択肢となります。お問い合わせをお願いします。

Veteksemiconは、半導体業界向けにカスタマイズされたQuartzウェーハボート製品の提供を専門としています。当社の製品ラインには、半導体融合クォーツガラスボート、クォーツ拡散ボート、カスタマイズされたクォーツアニーリングボートが含まれており、拡散、酸化、CVDなどの高精度プロセスで広く使用されています。 Veteksemiconは、製品と技術の包括的なカスタマイズされたサービスを提供することを主張しています。あなたのさらなる相談を楽しみにしています。