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Wafer Chuck
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Wafer Chuck

ウェーハ チャンクは、半導体プロセスにおけるウェーハ クランプ ツールであり、PVD、CVD、ETCH およびその他のプロセスで広く使用されています。Vetek Semiconductor のウェーハ チャックは、半導体製造において極めて重要な役割を果たし、高速で高品質な出力を可能にします。 Vetek Semiconductor は、社内製造、競争力のある価格設定、強力な研究開発サポートにより、精密部品の OEM/ODM サービスに優れています。お問い合わせをお待ちしております。

Vetek Semiconductor は専門メーカーとして、SiC コーティングされたウェハ チャックを提供したいと考えています。

Vetek Semiconductorは、半導体デバイス用の全範囲のコンポーネントの開発と製造をカバーするISO9001認証を保持しています。これらのコンポーネントには、プロセス機器、堆積機器、検査機器、半導体ウェーハチャック、フローメーター、チャンバー、プレート、ブロック、シャフト、ローラーなどの圧力硬化システムが含まれます。機器メーカー)、Vetek半導体は、世界最大の半導体市場である米国のトップ半導体機器メーカーに半導体精密コンポーネントを提供しています。

Vetek Semiconductor's Wafer Chuckは、半導体ウェーハ生産プロセス機器のウェーハ最終検査機器の段階的なコンポーネントです。体系的な品質管理と検査システムを通じて、高速で高品質で競争力のある生産が達成されます。コストの最適化は、生産インフラストラクチャの戦略的統合と、材料、コンポーネント、モジュール、機器の国内および国際的な専門家メーカーとのパートナーシップを通じて達成されます。

Vetek Semiconductorの半導体Wafer Chuckは、高精度の機械加工方法と設計技術を使用して、真空ウェーハチャックの平坦性が3μm未満になるようにするために、ウェーハ検出装置で使用されます。この細心のアプローチは、ウェーハ検査の優れたパフォーマンスと精度を保証します。

Vetek Semiconductor コアの利点:

1.自社工場での製造

2. 正直な価格で直接生産/販売します。

3. 社内の研究開発センターは品質向上と開発サポートを提供し、部品のローカライゼーションのための企業および国家の研究支援プロジェクトに積極的に参加しています。

4.OEM/ODM


CVD SiC コーティングの基本物性:

CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE

CVD SiCコーティングの基本物性
財産 代表値
結晶構造 FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
密度 3.21 g/cm3
硬度 ビッカース硬度2500(500g荷重)
穀物サイズ 2〜10mm
化学純度 99.99995%
熱容量 640 J・kg-1・K-1
昇華温度 2700℃
曲げ強度 415 MPA RT 4ポイント
ヤングモジュラス 430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率 300W・m-1・K-1
熱膨張(CTE) 4.5×10-6K-1


制作ショップ:

VeTek Semiconductor Production Shop


半導体チップのエピタキシー産業チェーンの概要:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


ホットタグ: ウェーハチャック
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