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炭化シリコンエピタキシー

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CVD SICグラファイトシリンダー

CVD SICグラファイトシリンダー

Vetek SemiconductorのCVD SIC Graphiteシリンダーは、半導体機器で極めて重要であり、高温および圧力設定の内部成分を保護するための原子炉内の保護シールドとして機能します。それは効果的に化学物質と極端な熱に対してシールドし、機器の完全性を維持します。例外的な摩耗と耐食性により、挑戦的な環境での長寿と安定性が保証されます。これらのカバーを使用すると、半導体デバイスのパフォーマンスが向上し、寿命が長くなり、メンテナンスの要件と損傷のリスクを軽減します。お問い合わせください。
CVD SiC コーティング ノズル

CVD SiC コーティング ノズル

CVD SICコーティングノズルは、半導体製造中にシリコン炭化物材料を堆積するためのLPE SICエピタキシープロセスで使用される重要な成分です。これらのノズルは、通常、高温で化学的に安定した炭化物材料で作られており、過酷な処理環境での安定性を確保しています。均一な堆積のために設計された彼らは、半導体アプリケーションで成長したエピタキシャル層の品質と均一性を制御する上で重要な役割を果たします。あなたのさらなるお問い合わせを歓迎します。
CVD SICコーティングプロテクター

CVD SICコーティングプロテクター

使用されるVetek半導体のCVD SICコーティングプロテクターはLPE SICエピタキシーであり、「LPE」という用語は通常、低圧化学蒸気堆積(LPCVD)の低圧エピタキシー(LPE)を指します。半導体製造では、LPEは、シリコンエピタキシャル層または他の半導体エピタキシャル層を栽培するためによく使用される単結晶薄膜を栽培するための重要なプロセス技術です。
SiCコーティングされた台座

SiCコーティングされた台座

Vetek Semiconductor は、グラファイトおよび炭化ケイ素材料上の CVD SiC コーティング、TaC コーティングの製造の専門家です。当社はSiCコーティングペデスタル、ウェーハキャリア、ウェーハチャック、ウェーハキャリアトレイ、遊星ディスクなどのOEMおよびODM製品を提供しています。1000グレードのクリーンルームと精製装置を備えており、不純物5ppm以下の製品を提供できます。ご連絡をお待ちしています。すぐにあなたから。
SiCコーティングインレットリング

SiCコーティングインレットリング

Vetek Semiconductor は、クライアントと緊密に連携して、特定のニーズに合わせた SiC コーティング インレット リングのオーダーメイド設計を作成することに優れています。これらの SiC コーティング インレット リングは、CVD SiC 装置や炭化ケイ素エピタキシーなどのさまざまな用途向けに細心の注意を払って設計されています。カスタマイズされた SiC コーティング インレット リング ソリューションについては、個別のサポートが必要なため、Vetek Semiconductor にお気軽にお問い合わせください。
予熱リング

予熱リング

予熱リングは、半導体エピタキシープロセスでウェーハを予熱し、ウェーハの温度をより安定かつ均一にするために使用されます。これは、エピタキシー層の高品質な成長にとって非常に重要です。 Vetek Semiconductor は、高温での不純物の揮発を防ぐためにこの製品の純度を厳密に管理しています。詳しいご相談を歓迎します。

Veteksemicon silicon carbide epitaxy is your advanced procurement option for producing high-performance 4H-SiC and 6H-SiC epitaxial layers used in wide bandgap semiconductor devices. SiC epitaxy enables the formation of defect-controlled, dopant-engineered epitaxial layers critical for high-power, high-frequency, and high-temperature electronic devices.


Our offering includes specialized components such as SiC epitaxial susceptors, SiC-coated wafer holders, and epitaxy process rings, tailored for use in horizontal and vertical MOCVD and CVD reactors, including platforms by Veeco, Aixtron, and LPE. Veteksemicon’s parts are coated with high-purity CVD SiC, ensuring chemical compatibility, temperature uniformity, and minimal contamination during epitaxial layer growth.


Silicon carbide epitaxy is essential for fabricating power MOSFETs,  IGBTs, and RF components, particularly in automotive, energy, and aerospace applications. The epitaxial process requires extremely precise control over doping concentration, layer thickness, and crystallographic orientation, which is why substrate compatibility and thermal stability of reactor parts are critical.


Relevant terms in this category include 4H-SiC epitaxial wafer, low-defect-density epitaxy, SiC epi-ready substrates, and wide bandgap semiconductors. Veteksemicon supports both research-scale and volume production needs with stable, repeatable, and thermally robust component solutions.


To learn more about our silicon carbide epitaxy support materials, visit the Veteksemicon product detail page or contact us for detailed specifications and engineering support.


中国の専門家炭化シリコンエピタキシーメーカーおよびサプライヤーとして、私たちは独自の工場を持っています。あなたの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要であるか、中国製の高度で耐久性のある炭化シリコンエピタキシーを購入したい場合でも、メッセージを残すことができます。
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