SIC単結晶成長プロセススペアパーツ

タンタルム炭化物コーティングされた結晶の成長は、主にSIC結晶成長プロセスで使用されています。 Vetek Semiconductorは、長年にわたって結晶の成長のために炭化物コーティングチューブを供給しており、長年にわたってTACコーティングの分野で働いています。当社の製品は、純度が高く、温度抵抗が高くなっています。中国であなたの長期パートナーになることを楽しみにしています。お気軽にお問い合わせください。

TACコーティングガイドリングは、高品質のグラファイトとTACコーティングで作られています。 PVTメソッドによるSIC結晶の調製では、Vetek半導体のTACコーティングガイドリングは、主に気流を導き、制御し、単結晶成長プロセスを最適化し、単結晶収量を改善するために使用されます。優れたTACコーティング技術により、当社の製品は優れた高温抵抗、耐食性、良好な機械的特性を持っています。

VeTek Semiconductor は、お客様向けに TaC コーティングされたグラファイト ウェーハ キャリアを慎重に設計しました。高純度グラファイトとTaCコーティングで構成されており、各種ウエハエピタキシャルウエハの加工に適しています。当社は長年にわたりSiCおよびTaCコーティングに特化してきました。 SiC コーティングと比較して、当社の TaC コーティングされたグラファイト ウェーハ キャリアは、より高い耐熱性と耐摩耗性を備えています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。