炭化タンタルとは（TAC）？

炭化物タンタルム（TAC）はタンタル（TA）と炭素（C）のバイナリ化合物であり、化学式は通常Tacₓ（ここで0.4〜1の範囲）として表されます。これは、優れた硬度、高温安定性、金属導電率を持つ耐火性セラミック材料として分類されます。

1。炭化物の構造

1.1化学組成と結晶構造

炭化物は、タンタル（TA）と炭素（C）で構成されるバイナリセラミック化合物です。

その結晶構造は、顔中心の立方体（FCC）であり、優れた硬度と安定性をもたらします。

1.2結合特性

強力な共有結合により、炭化物は非常に硬く、変形に耐性があります。

TACの拡散係数は非常に低く、高温でも安定したままです。

微視的な断面の炭化物（TAC）コーティング

2。炭化物の物理的特性

2.1超高融点

融点は3,880°Cの融点で、炭化物は既知の材料の中で最も高い融点の1つであり、極端な温度で優れた安定性をもたらします。

2.2優れた硬度

約9〜10のMOHSの硬度により、ダイヤモンドに近いため、耐摩耗性のコーティングで広く使用されています。

2.3良好な電気伝導率

ほとんどのセラミック材料とは異なり、TACは高金属のような電気伝導率を備えているため、特定の電子機器の用途に価値があります。

2.4腐食と酸化抵抗

TACは酸腐食に対して非常に耐性があり、長期にわたって過酷な環境での構造的完全性を維持しています。 ただし、TACは、1,500°Cを超える空気中で、五酸化タンタル（Ta₂o₅）に酸化する場合があります。 

3.一般的な完成した炭化物製品

3.1炭化物コーティングされた部品

● CVD Tantal Carbide Coated Compentor：半導体エピタキシーおよび高温処理で使用。

● 炭化物コーティングされたグラファイト部品のタンタルム：高温炉およびウェーハ処理チャンバーで使用されます。例には、炭化物コーティングされた多孔質グラファイトが含まれます。これは、SIC結晶成長中のガスの流れを最適化し、熱ストレスを減らし、熱均一性を改善し、耐性耐性の向上を阻害し、不純物拡散を阻害することにより、プロセス効率と結晶の品質を大幅に改善します。

● タンタル炭化物コーティングされた回転プレート：VeteksemiconのTACコーティングされた回転プレートは、5ppm未満の不純物含有量と密な均一な構造を持つ高純度組成と、LPE EPIシステム、Aixtron System、Nuflare System、Tel CVDシステム、VEECOシステム、TSIシステムで広く使用されています。システム、TSIシステム。

● TACコーティングヒーター：TACコーティングの非常に高い融点（〜3880°C）の組み合わせにより、特に窒化ガリウム（GAN）エピタキシャル層の成長（GAN）の成長（MOCVD）プロセスの成長において、非常に高温で動作することができます。

● 炭化物コーティングるつぼ：CVD TACコーティングされたるつぼは、PVTによるSIC単結晶の成長において重要な役割を果たすことがよくあります。

3.2切削工具と耐摩耗性コンポーネント

●炭化物コーティングされた炭化物切削工具：ツールの寿命と機械加工の精度を向上させます。

●航空宇宙ノズルとヒートシールド：極端な熱および腐食性環境で保護を提供します。

3.3炭化物のタンタル高性能セラミック製品

●宇宙船熱保護システム（TPS）：宇宙船および過敏な車両用。

●核燃料コーティング：核燃料ペレットを腐食から保護します。

4。半導体製造における炭化物のタンタルアプリケーション

4.1エピタキシャルプロセスのための炭化物コーティングされたキャリア（容疑者）

役割：グラファイトキャリアに適用される炭化物コーティングは、化学蒸気堆積（CVD）および金属有機化学蒸気堆積（MOCVD）プロセスの熱均一性と化学的安定性を改善します。

利点：プロセス汚染の減少と拡張キャリア寿命。

4.2エッチングおよび堆積コンポーネント

ウェーハトランスファーリングとシールド：炭化物のコーティングは、プラズマエッチングチャンバーの耐久性を改善します。

利点：積極的なエッチング環境に耐え、汚染物質の降水量を減らします。

4.3高温加熱要素

SIC CVD成長への応用：炭化物コーティングされた加熱要素は、炭化シリコン（SIC）ウェーハ製造プロセスの安定性と効率を改善します。

4.4半導体製造装置用の保護コーティング

なぜTACコーティングが必要なのですか？  半導体の製造には極端な温度と腐食性ガスが含まれ、炭化物のタンタルcartは、機器の安定性と寿命を改善するのに効果的です。

5。なぜ選択するのかセミコン?

セミコンは、大手メーカーでありサプライヤーです炭化物コーティング中国の半導体産業の材料。当社の主な製品には、CVD炭化物コーティング部品、SIC結晶成長または半導体エピタキシープロセスのための焼結TACコーティング部品が含まれます。 Veteksemiconは、継続的なR＆Dと技術の反復を通じて、炭化物コーティング業界のイノベーターおよびリーダーになることを約束しています。