SICコーティングICPエッチングキャリア

Veteksemicon sicコーティングICPエッチングキャリアは、最も要求の厳しいエピタキシー機器用途向けに設計されています。高品質のウルトラピュアグラファイト材料で作られた当社のSICコーティングされたICPエッチングキャリアは、非常に平坦な表面と優れた腐食抵抗があり、ハンドリング中の過酷な条件に耐えることができます。 SICコーティングされたキャリアの高い熱伝導率は、優れたエッチング結果のために熱分布さえ保証します。

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製品説明

生産の長年の経験があるsicコーティングICPエッチングキャリアでは、vetek半導体は幅広い範囲を供給できます。sicコーティングまたはTACコーティング半導体業界向けのスペアパーツ。以下の製品リストに加えて、特定のニーズに応じて独自のSICコーティングまたはTACコーティングされた部品をカスタマイズすることもできます。

Vetek半導体のSICコーティングICPエッチングキャリア（ICPキャリア、PSSキャリア、RTPキャリア、またはRTPキャリアとも呼ばれる）は、半導体業界のさまざまなアプリケーションで使用される重要なコンポーネントです。シリコン炭化物コーティンググラファイトは、これらの現在のキャリアの製造に使用される主要な材料です。サファイア基質の熱伝導率の10倍以上の熱伝導率を持っています。この特性は、高いローラー電界強度と最大電流密度と組み合わせて、特に半導体の高出力成分におけるさまざまな用途でのシリコンの潜在的な代替品としての炭化シリコンの調査を促しました。 SICの電流キャリアプレートは熱伝導率が高く、それらを理想的にしています導かれた製造プロセス。

効率的な熱散逸を確保し、優れた電気伝導率を提供し、高出力LEDの生産に貢献します。さらに、これらのキャリアプレートは優れていますプラズマ抵抗長いサービスライフ、厳しい半導体製造環境での信頼できるパフォーマンスと生命を確保します。

Veteksemiconは、多くの半導体メーカーとの長期的な協力関係を確立しています。また、お客様との長期的なパートナーシップを構築することも楽しみにしています。