半導体グレードクォーツベルジャー

半導体グレードの石英ベルジャーは、高純度の石英素材で作られています。優れた熱安定性と強い耐食性を有し、多くの分野で使用されています。半導体業界: 半導体グレードの石英ベル ジャーは、化学蒸着 (CVD) 中にウェーハ上に薄膜を蒸着するための制御された環境を提供します。半導体グレードの石英ベルジャーは、光学コーティング、金属コーティング、その他のタイプの薄膜材料の製造など、真空技術を必要とするプロセスでも使用されます。半導体グレードのクォーツ ベル ジャーは、高純度の真空密閉環境を必要とする多くの物理科学や材料科学の実験にも必要です。

半導体業界の使用シナリオ:

ポリシリコンは、多数の小さな粒子から構成されるシリコン材料であり、集積回路、太陽電池などの分野で広く使用されています。化学蒸着 (CVD) は、多結晶シリコンを製造する主な方法の 1 つです。基本原理は、SiH4 などのシリコンソースガスが高温で分解し、基板上に堆積して多結晶シリコンを形成することです。

SiHCl3 + H2 ⇒ Si + 3HCl

高温および真空条件下で、シリコンソースガスが化学蒸着に供給されました。最終的に得られる多結晶シリコン。半導体グレードの石英ベルジャーは多結晶シリコンCVD反応装置の重要な部品です。

多結晶シリコンCVDリアクター

CVDの高温反応の下で、半導体グレードの石英ベルジャーは均一な熱環境を提供できます。高純度石英材料の高温抵抗（最大1100°Cまでの温度に耐えることができます）により、CVD反応で安定して動作し、反応領域で均一な温度分布を確保できます。 CVDプロセスでは、PH3などなどの多くの有毒ガス成分があります。半導体グレードの石英ベルジャーは、有害なガス漏れを防ぐために、外部環境から反応チャンバー内の化学ガスを効果的に分離できます。高純度石英材料の耐食性により、CVDプロセス中に他の材料が長時間安定して作業することもでき、腐食や損傷を容易にしません。

石英ベルジャーは石英保温管や縦型石英ボートと組み合わせて使用​​され、主に半導体集積回路チップ製造のエピタキシャルプロセスで使用されます。エピタキシャル炉は一般に縦型石英ボートの外側に石英ベルジャーを設置し、石英保温管を支持体とした縦型構造を採用しています。

高温環境における半導体グレードのクォーツベルジャーの別の典型的なアプリケーション：老化のための不活性雰囲気で1秒以内に矯正部品のバッチを704 orに加熱する：

Vetek Semiconductorには成熟した技術チームがあります。必要な高純度のクォーツベルジャーの形状や素材に関係なく、私たちはあなたのためにそれを調整することができます。

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