その他の半導体セラミックス

Veteksemiconによる多孔質SICセラミックチャックは、エッチング、イオン着床、CMP、検査などの高度な半導体プロセスで安全で粒子のないウェーハ処理用に設計された精密設計真空プラットフォームです。高純度の多孔質炭化物シリコンから製造された、優れた熱伝導率、耐薬品性、および機械的強度を提供します。カスタマイズ可能なポアのサイズと寸法により、Veteksemiconは、クリーンルームウェーハ処理環境の厳しい需要を満たすためにテーラードソリューションを提供します。

クォーツウェーハボートは、半導体、LED、太陽電池、バッテリー製造プロセスに合わせた高純度ウェーハキャリアソリューションです。高温と化学的に攻撃的な環境に耐えるように設計されたこのクォーツボートは、低熱膨張、優れた電気断熱、および長期的な寸法の安定性を特徴としています。拡散、酸化、およびLPCVDプロセスに最適であるため、正確なウェーハアライメントをサポートし、さまざまな機器要件を満たすためにさまざまなサイズで利用できます。

当社の高純度クォーツボートは、融合したクォーツ（SIO₂コンテンツ≥99.99％）でできています。極端な環境、低熱膨張係数、および長いライフサイクルに対する優れた抵抗により、半導体および新しいエネルギー産業ではかけがえのない鍵が消費されています。

エッチング用のフォーカスリングは、プロセスの正確性と安定性を確保するための重要なコンポーネントです。これらの成分は、プラズマ分布、エッジ温度、電界の均一性の正確な制御を通じて、ウェーハ表面のナノスケール構造の均一な機械加工を実現するために、真空チャンバーに正確に組み立てられています。

Veteksemiconは中国の主要な真空チャックメーカーであり、セラミック真空チャックは、ウェーハとインゴットを正確に吸着および固定化するための高エンド真空吸着デバイスとして機能します。お問い合わせを歓迎します。

半導体グレードの石英ベルジャーは、主に高温、高圧、高純度の環境で使用される重要な機器部品です。高純度の石英材料でできており、熱安定性、耐薬品性、光透過性に優れており、半導体製造やLED製造などの産業分野で広く使用されています。 VeTek Semiconductor は、半導体グレードの石英ベル ジャーにおける長年のプロセスの蓄積があり、顧客のニーズに応じてカスタマイズされた製品を提供できます。お問い合わせをお待ちしております。