Veteksemicon ウェーハ用 SiC セラミック真空チャックは、半導体ウェーハ処理において卓越した精度と信頼性を実現するように設計されています。高純度の炭化ケイ素から製造されているため、優れた熱伝導性、耐薬品性、優れた機械的強度が保証され、エッチング、蒸着、リソグラフィーなどの要求の厳しいアプリケーションに最適です。その超平坦な表面により安定したウェーハサポートが保証され、欠陥が最小限に抑えられ、プロセスの歩留まりが向上します。 この真空チャックは、高性能ウェーハハンドリングのための信頼できる選択肢です。