アドバンスセラミック

MOCVD の高温で化学反応性の高い環境、反応チャンバーの保護、およびプロセス制御の精度は最も重要です。 VETEK は、半導体装置内で「クリーンルーム」および「精密ゲート」として機能するように特別に設計された、高品質の不透明 (乳白色) クォーツ コンポーネントを提供します。これらのコンポーネントは、熱放射を管理し、汚染を防止するための、コスト効率が高く、かつ高性能のソリューションを提供します。

AMAT カバー トップ クォーツ 8 インチ PCII (0200-00218) は、アプライド マテリアルズ Endura PVD チャンバー用に設計された高純度石英コンポーネントで、優れた汚染制御、プラズマの安定性、耐用年数の延長を実現します。200mm 半導体プロセス用に設計されており、チャンバー トップ領域の重要な保護および絶縁要素として機能し、歩留まりとプロセスの一貫性の向上に役立ちます。Vetek Semiconductor は、信頼性の高い性能を備えた精密製造の OEM 互換石英部品を提供しています。グローバルな供給能力を備えておりますので、お問い合わせをお待ちしております。

VETEK では、石英ボートが単なる消耗品ではなく、太陽光発電プロセスの最終的な歩留まりにとって重要な高精度コンポーネントであることを理解しています。 VETEK の太陽光発電クォーツ ボートは、TOPCon、PERC、高性能単結晶/多結晶セル生産ライン向けに特別に設計されており、拡散、酸化、アニーリングの各段階で優れた信頼性を実現します。

Veteksemicon の半導体グレードの石英るつぼは、チョクラルスキー単結晶成長プロセスにおける重要な消耗品です。当社は、極めて高い純度と優れた熱安定性を核として、高温高圧環境下でも安定した性能と優れた結晶化耐性を発揮する高品質の製品をお客様に提供することに尽力しています。これにより、ソースからの結晶ロッドの品質が確保され、半導体シリコン ウェーハの製造における歩留まりの向上と費用対効果の向上に役立ちます。

Veteksemicon ウェーハ用 SiC セラミック真空チャックは、半導体ウェーハ処理において卓越した精度と信頼性を実現するように設計されています。高純度の炭化ケイ素から製造されているため、優れた熱伝導性、耐薬品性、優れた機械的強度が保証され、エッチング、蒸着、リソグラフィーなどの要求の厳しいアプリケーションに最適です。その超平坦な表面により安定したウェーハサポートが保証され、欠陥が最小限に抑えられ、プロセスの歩留まりが向上します。 この真空チャックは、高性能ウェーハハンドリングのための信頼できる選択肢です。

ウェーハの洗浄、エッチング、ウェット エッチングの重要なステップでは、高純度石英バスは単なる容器ではありません。それはプロセスを成功させるための最初の防御線です。金属イオン汚染、熱衝撃亀裂、化学的攻撃、および粒子残留物が、収量変動の隠れた原因となります。 Veteksemi は半導体グレードのクォーツに深く根ざしています。当社が製造するすべての石英バスは、最先端のプロセスに妥協のない信頼性と清浄性を提供するように設計されています。